บรรจุภัณฑ์ขั้นสูง
การใช้งานการนำทางเชิงเส้นแบบแม่นยำ
ระบบจัดตำแหน่งสั่งทำ Schneeberger Zircon ได้รับการออกแบบเฉพาะสำหรับบรรจุภัณฑ์ขั้นสูง ใช้ใน die-to-wafer hybrid bonding, ตัวเร่ง AI, การคำนวณสมรรถนะสูง (HPC) และการบูรณาการ 5G chiplet ความแม่นยำระดับต่ำกว่าไมครอนพร้อมการบูรณาการอัตโนมัติเต็มรูปแบบตอบสนองข้อกำหนดความแม่นยำในการบรรจุภัณฑ์ของยุค heterogeneous integration
ความท้าทายของการนำทางเชิงเส้นในบรรจุภัณฑ์ขั้นสูง
สถาปัตยกรรม heterogeneous integration และ chiplet ขับเคลื่อนข้อกำหนดที่เข้มงวดมากด้านความแม่นยำในการจัดตำแหน่ง เสถียรภาพระยะยาว และการบูรณาการอัตโนมัติ
ความแม่นยำระดับต่ำกว่าไมครอน
Die-to-wafer hybrid bonding ต้องการความแม่นยำในการจัดตำแหน่งระดับต่ำกว่าไมครอนเพื่อให้มั่นใจในการจัดตำแหน่งที่แม่นยำของพื้นผิว bonding ระหว่าง chiplet กับเวเฟอร์ ระบบจัดตำแหน่งต้องให้การเคลื่อนที่แม่นยำสูงพร้อมความทำซ้ำที่โดดเด่น
เสถียรภาพระยะยาว
อุปกรณ์บรรจุภัณฑ์ขั้นสูงทำงานอย่างต่อเนื่องในสภาพแวดล้อมการผลิตจำนวนมาก ระบบจัดตำแหน่งต้องรักษาเสถียรภาพความแม่นยำหลังการใช้งานเป็นเวลานาน มั่นใจในอัตราผลผลิตของกระบวนการและความสม่ำเสมอของผลิตภัณฑ์
การบูรณาการอัตโนมัติไร้รอยต่อ
สายการผลิตบรรจุภัณฑ์ขั้นสูงต้องการระบบจัดตำแหน่งที่บูรณาการอย่างไร้รอยต่อเข้ากับเวิร์กโฟลว์อัตโนมัติเต็มรูปแบบ — ตั้งแต่การหยิบและวาง die การจัดตำแหน่ง ไปจนถึง bonding — แต่ละขั้นตอนประสานงานอย่างแม่นยำเพื่อลดการแทรกแซงด้วยมือ
การทำงานในห้องสะอาด
กระบวนการบรรจุภัณฑ์ขั้นสูงทำงานในสภาพแวดล้อมห้องสะอาด การออกแบบระบบจัดตำแหน่งและการเลือกวัสดุต้องตรงตามข้อกำหนดห้องสะอาดเพื่อป้องกันการปนเปื้อนอนุภาคจากการส่งผลกระทบต่อคุณภาพ bonding
โซลูชันการนำทางเชิงเส้นสำหรับบรรจุภัณฑ์ขั้นสูง
ระบบจัดตำแหน่งสั่งทำ Zircon
ระบบจัดตำแหน่งสั่งทำ Schneeberger ที่พัฒนาเฉพาะสำหรับบรรจุภัณฑ์ขั้นสูง ใช้ใน die-to-wafer hybrid bonding ความแม่นยำระดับต่ำกว่าไมครอนรองรับ heterogeneous integration การจัดตำแหน่งและวาง chiplet พร้อมการทำงานอัตโนมัติเต็มรูปแบบ
- ความแม่นยำระดับต่ำกว่าไมครอน พร้อมความทำซ้ำที่โดดเด่น
- เฉพาะสำหรับ die-to-wafer hybrid bonding
- รองรับการบูรณาการ chiplet ตัวเร่ง AI และ HPC
- การจัดตำแหน่ง 5G chiplet และ heterogeneous integration
- เสถียรภาพระยะยาวสำหรับการผลิตจำนวนมาก
- ทำงานในห้องสะอาดพร้อมการบูรณาการอัตโนมัติเต็มรูปแบบ
รางเลื่อนลูกกลิ้งไขว้ Type RN (FORMULA-S)
รางเลื่อนลูกกลิ้งไขว้แม่นยำช่วงเดินทางจำกัดที่มีความสามารถรับน้ำหนัก 3 เท่าของ Type R เสริม Cage Control (FORMULA-S) ป้องกันการเลื่อนของรังลูกปืน เหมาะสำหรับการจัดตำแหน่งแท่นแม่นยำในอุปกรณ์ bonding
- ความสามารถรับน้ำหนัก 3 เท่า ของ Type R
- ความเร็วสูงสุด 1 m/s ความเร่งสูงสุด 300 m/s²
- เสริม Cage Control (FORMULA-S ป้องกันการเลื่อนแบบ rack-and-pinion)
- ความเข้ากันได้กับสุญญากาศถึง 10⁻⁷ mbar
- ขนาดเท่ากับ Type R (ขนาด 3, 4, 6)
- เหมาะสำหรับการจัดตำแหน่งแท่นแม่นยำในอุปกรณ์ bonding
การใช้งานจริงในบรรจุภัณฑ์ขั้นสูง
สำรวจการใช้งานที่เกี่ยวข้อง
ต้องการโซลูชันการนำทางเชิงเส้นแม่นยำสำหรับบรรจุภัณฑ์ขั้นสูงหรือไม่?
ทีมวิศวกรการใช้งานของเราพร้อมให้คำปรึกษาทางเทคนิคและคำแนะนำในการเลือกผลิตภัณฑ์