การใช้งานในอุตสาหกรรม

เครื่องมือวัด
การใช้งานการนำทางเชิงเส้นแบบแม่นยำ

กรณีศึกษาอย่างเป็นทางการของ Schneeberger: ผู้ผลิตอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์เลเซอร์ หลังจากประเมินโซลูชันรางเลื่อนหลายตัว ได้เลือก MINIRAIL เป็นการนำทางแกนหลักเนื่องจากความแข็งเกร็งและความราบรื่นของการเดินทาง ความกระเพื่อมการเคลื่อนที่ต่ำมากของรางเลื่อนลูกกลิ้งไขว้ Type R/RN ทำให้เป็นตัวเลือกแรกสำหรับการจัดตำแหน่งแม่นยำใน CMM เครื่องวัดความหยาบผิว และแท่นวัดเชิงแสง

ข้อกำหนด

ความท้าทายของการนำทางเชิงเส้นในเครื่องมือวัด

เครื่องมือวัดกำหนดข้อกำหนดที่เข้มงวดต่อระบบนำทางเชิงเส้นเกี่ยวกับความกระเพื่อมของการเคลื่อนที่ ความแข็งเกร็ง ความราบรื่น และเสถียรภาพทางความร้อน — คุณภาพของรางเลื่อนส่งผลโดยตรงต่อความน่าเชื่อถือของการวัด

ความกระเพื่อมของการเคลื่อนที่ต่ำมาก

ความกระเพื่อมของราง = ความผิดพลาดของการวัด

ความกระเพื่อมของการเคลื่อนที่เล็กน้อยระหว่างการเดินทางของรางแปลงเป็นความผิดพลาดของการวัดโดยตรง โครงสร้างไม่หมุนเวียนของรางเลื่อนลูกกลิ้งไขว้กำจัดการเต้นเป็นจังหวะจากการหมุนเวียนลูกบอล ให้คุณภาพการเคลื่อนที่ที่สม่ำเสมอ

ความแข็งเกร็งสูงและความสามารถรับน้ำหนัก

เสถียรภายใต้แรงสัมผัส

แรงปฏิกิริยาที่เกิดขึ้นเมื่อระบบหัววัด CMM สัมผัสชิ้นงานต้องการให้รางเลื่อนรักษาการจัดตำแหน่งที่เสถียรภายใต้น้ำหนัก รางเลื่อนลูกกลิ้งไขว้รับแรงในแนวแกนและแนวรัศมีพร้อมกัน Type RN ให้ความสามารถรับน้ำหนัก 3 เท่าของ Type R

การเดินทางราบรื่น

การเคลื่อนที่สม่ำเสมอปราศจากการสั่น

การวัดแบบสแกน (เช่น เครื่องวัดความหยาบผิวและการสแกนอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์) ต้องการให้รางเลื่อนให้การเคลื่อนที่สม่ำเสมอปราศจากการสั่น ในกรณีศึกษาอย่างเป็นทางการ ผู้ผลิตอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์เลเซอร์เลือก MINIRAIL เป็นหลักเพราะ "ความแข็งเกร็ง" และ "ความราบรื่นของการเดินทาง"

เสถียรภาพทางความร้อน

ขีดจำกัดใช้งาน MINISCALE PLUS +80°C

สภาพแวดล้อมการวัดมีความไวต่อการเลื่อนของอุณหภูมิอย่างมาก — การขยายตัวทางความร้อนของระบบนำทางส่งผลต่อความแม่นยำในการจัดตำแหน่ง ระบบวัดแบบบูรณาการ MINISCALE PLUS มีช่วงอุณหภูมิใช้งาน -40°C ถึง +80°C

โซลูชัน Schneeberger

โซลูชันการนำทางเชิงเส้นสำหรับเครื่องมือวัด

Schneeberger นำเสนอกลุ่มผลิตภัณฑ์ที่ครบถ้วนตั้งแต่รางเลื่อนลูกกลิ้งไขว้ไปจนถึงรางนำทางหมุนเวียนขนาดเล็กและรางเลื่อนเข็มแบบรังลูกปืน

Type R / RN

รางเลื่อนลูกกลิ้งไขว้ Type R / RN

รางเลื่อนไร้แรงเสียดทานมาตรฐานแห่งแรกของโลก ลูกกลิ้งจัดเรียงแบบไขว้รับแรงในแนวแกนและแนวรัศมีพร้อมกัน คุณสมบัติความกระเพื่อมต่ำมากเหมาะสำหรับการจัดตำแหน่งวัดแม่นยำ

  • รางเลื่อนไร้แรงเสียดทานมาตรฐานแห่งแรกของโลก (Type R)
  • Type RN ความสามารถรับน้ำหนัก 3 เท่า ของ Type R
  • เสริม Cage Control (FORMULA-S ป้องกันการเลื่อนแบบ rack & pinion)
  • สเปค FORMULA-S: ความเร่ง ≤ 300 m/s² ความเร็ว ≤ 1 m/s
  • รับแรงในแนวแกนและแนวรัศมีพร้อมกัน
  • อุณหภูมิใช้งาน -40°C ถึง +80°C
  • การใช้งาน: แท่น CMM แท่นอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ อุปกรณ์วัดพื้นผิว
MINIRAIL

MINIRAIL รางนำทางลูกบอลหมุนเวียนขนาดเล็ก

ผลิตภัณฑ์กรณีการวัดอย่างเป็นทางการ: ผู้ผลิตอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์เลเซอร์เลือก MINIRAIL เพราะความแข็งเกร็งและความราบรื่นของการเดินทางที่เหนือกว่า สามารถรวมกับโมดูลวัด MINISCALE PLUS

  • ความเร็ว ≤ 5 m/s ความเร่ง ≤ 300 m/s²
  • กรณีอย่างเป็นทางการ: ความแข็งเกร็งและ ความราบรื่นของการเดินทาง เป็นเกณฑ์เลือกหลัก
  • ไม่ต้องปรับแรงอัดล่วงหน้าแต่ละแกน
  • เข้ากันได้กับ MINISCALE PLUS (ความละเอียด 0.1 µm)
  • ความแม่นยำทิศทางเดียว ±0.1 µm ความแม่นยำสองทิศทาง ±0.2 µm
  • เสริม Cage Assist
Type N/O

รางเลื่อนเข็มแบบรังลูกปืน Type N/O

ความสามารถรับน้ำหนัก ความแข็งเกร็ง และความแม่นยำสูงสุด รังลูกปืนผสม (เหล็ก + พลาสติก) ของ Schneeberger ให้แรงต้านการเคลื่อนที่ต่ำกว่ารางเลื่อนเข็มลูกกลิ้งโลหะทั้งหมดทั่วไป เหมาะสำหรับแท่นวัดแม่นยำที่ต้องการความสามารถรับน้ำหนักสูง

  • ความสามารถรับน้ำหนัก ความแข็งเกร็ง และความแม่นยำสูงสุด
  • รังลูกปืนผสม (เหล็ก + พลาสติก) แรงต้านการเคลื่อนที่ต่ำกว่า
  • ขั้นตอนการติดตั้งเหมือน Type R / RN
  • การออกแบบช่วงชักจำกัด เหมาะสำหรับการจัดตำแหน่งวัดจุดคงที่
กรณีการใช้งาน

การใช้งานจริงของการนำทางเชิงเส้นในเครื่องมือวัด

ต่อไปนี้แสดงสถานการณ์การใช้งานทั่วไปและจุดเด่นทางเทคนิคของระบบนำทางเชิงเส้นแม่นยำในเครื่องมือวัด

Schneeberger precision positioning system for wafer metrology
ระบบอย่างเป็นทางการ Schneeberger
แท่นจัดตำแหน่งวัดเวเฟอร์ XYT
ระบบจัดตำแหน่งแม่นยำ Schneeberger สำหรับการตรวจสอบเวเฟอร์และการวัด แท่นบูรณาการหลายแกน XYT รวมระบบนำทางเชิงเส้นและระบบวัดเพื่อให้การจัดตำแหน่งแม่นยำสูงในสภาพแวดล้อมวัดเซมิคอนดักเตอร์
ระบบจัดตำแหน่งการวัดเวเฟอร์แท่น XYT
Microtome precision slicing instrument
กรณีอย่างเป็นทางการ Schneeberger
การจัดตำแหน่งแม่นยำเครื่องตัดชิ้นเนื้อ
หน้าเทคโนโลยีทางการแพทย์ของ Schneeberger ระบุเครื่องตัดชิ้นเนื้อเป็นการใช้งานหลัก อธิบายข้อกำหนดอย่างเป็นทางการว่า "smooth running, high stiffness" เครื่องตัดชิ้นเนื้อเลื่อนตัวอย่างในระดับไมโครเมตร — เป็นอุปกรณ์จัดตำแหน่งระดับวัดแม่นยำที่ความราบรื่นของรางเลื่อนกำหนดความสม่ำเสมอของความหนาชิ้นตัดโดยตรง
เครื่องตัดชิ้นเนื้อการทำงานราบรื่นความแข็งเกร็งสูง
Microscope focusing and scanning platform
กรณีอย่างเป็นทางการ Schneeberger
แท่นโฟกัสและสแกนกล้องจุลทรรศน์
หน้าเทคโนโลยีทางการแพทย์ของ Schneeberger ระบุกล้องจุลทรรศน์เป็นสถานการณ์การใช้งาน ครอบคลุมฟังก์ชันโฟกัสและแท่นสแกน ในอุปกรณ์อุตสาหกรรมที่คล้ายกัน รางเลื่อนลูกกลิ้งไขว้ใช้กันอย่างแพร่หลายสำหรับแท่น XY กล้องจุลทรรศน์ดิจิทัล — โครงสร้างไม่หมุนเวียนกำจัดการสั่นจากการเต้นของการหมุนเวียน ป้องกันภาพเบลอภายใต้กำลังขยายสูง
กล้องจุลทรรศน์แท่น XYลูกกลิ้งไขว้

ต้องการโซลูชันนำทางสำหรับเครื่องมือวัดหรือไม่?

ทีมวิศวกรการใช้งานของเราพร้อมให้คำปรึกษาทางเทคนิคและคำแนะนำในการเลือกผลิตภัณฑ์

ESC
連結已複製!