การตรวจสอบและวัดเซมิคอนดักเตอร์
ระบบจัดตำแหน่งแม่นยำสั่งทำ
Semiconductor Inspection & Metrology — Custom Precision Positioning Systems
ด้วยประสบการณ์ประมาณ 40 ปีในระบบจัดตำแหน่งเซมิคอนดักเตอร์ Schneeberger ส่งมอบแท่นจัดตำแหน่งแม่นยำสั่งทำที่มีความเสถียรระดับนาโนเมตรและเวลาเคลื่อนที่และตั้งตัวระดับมิลลิวินาที ระบบเหล่านี้ใช้ในการตรวจสอบหน้ากาก, wafer AOI และการวัดเชิงแสงอัตโนมัติสำหรับอุปกรณ์กระบวนการ front-end ไม่ใช่ชิ้นส่วนรางเลื่อนเชิงเส้นมาตรฐาน แต่เป็นโซลูชันจัดตำแหน่งสั่งทำเต็มรูปแบบครอบคลุมการออกแบบ การประกอบ และการทดสอบ
ความท้าทายด้านการจัดตำแหน่งในอุปกรณ์ตรวจสอบและวัดเซมิคอนดักเตอร์
อุปกรณ์ตรวจสอบหน้ากาก, wafer AOI และการวัดกำหนดข้อกำหนดที่เข้มงวดมากต่อเสถียรภาพ ความเร็ว และการบูรณาการของระบบจัดตำแหน่ง ต้องการโซลูชันจัดตำแหน่งสั่งทำเฉพาะทาง
ความเสถียรระดับนาโนเมตร
การตรวจสอบหน้ากากและการวัดเวเฟอร์ต้องการความเสถียรการจัดตำแหน่งระดับต่ำกว่านาโนเมตร Schneeberger ระบุว่า: "The world of nanometres stability ... is our world." นี่คือความสามารถหลักของระบบจัดตำแหน่งสั่งทำและไม่สามารถบรรลุได้ด้วยชิ้นส่วนรางเลื่อนเชิงเส้นมาตรฐาน
การเคลื่อนที่และตั้งตัวระดับมิลลิวินาที
อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ปริมาณการผลิตสูงต้องการเวลาเคลื่อนที่และตั้งตัวที่รวดเร็ว (ระดับมิลลิวินาที) เพื่อรักษาปริมาณงานเวเฟอร์ต่อชั่วโมง ระบบสั่งทำ Schneeberger ปรับโปรไฟล์การเคลื่อนที่และพารามิเตอร์ควบคุมให้เหมาะสมเพื่อบรรลุความสมดุลระหว่างความเร็วสูงและเสถียรภาพสูง
การบูรณาการหลายแกน
อุปกรณ์ตรวจสอบและวัดมักต้องการการประสานงานหลายแกน XY, XYT หรือแม้แต่ XYZT Schneeberger จัดหาโซลูชันระบบบูรณาการครอบคลุมกลไกแท่น ตัวควบคุม และระบบแยกการสั่นเชิงรุก ลดความพยายามในการบูรณาการระบบฝั่งลูกค้า
การประกอบในห้องสะอาด
ระบบจัดตำแหน่งระดับเซมิคอนดักเตอร์ต้องประกอบ ทดสอบ และบรรจุในสภาพแวดล้อมห้องสะอาดเพื่อให้มั่นใจว่าตรงตามข้อกำหนดด้านความสะอาดเมื่อส่งมอบ Schneeberger มีกระบวนการผลิตและควบคุมคุณภาพในห้องสะอาดที่ครอบคลุม
โซลูชันจัดตำแหน่งสำหรับการตรวจสอบและวัดเซมิคอนดักเตอร์
ตั้งแต่ระบบจัดตำแหน่งสั่งทำเต็มรูปแบบไปจนถึงชิ้นส่วนรางเลื่อนแม่นยำมาตรฐาน Schneeberger นำเสนอโซลูชันผลิตภัณฑ์หลายระดับเพื่อตอบสนองข้อกำหนดการบูรณาการที่แตกต่างกัน
ระบบจัดตำแหน่งแม่นยำ
แผนก Precision Positioning Systems ของ Schneeberger จัดหาโซลูชันสั่งทำครบถ้วนตั้งแต่การกำหนดค่า XY ถึง XYZT ด้วยประสบการณ์อุตสาหกรรม SEMI ประมาณ 40 ปี ระบบเหล่านี้ให้ความเสถียรระดับนาโนเมตรและเวลาเคลื่อนที่และตั้งตัวระดับมิลลิวินาที รองรับเวเฟอร์ 450mm โซลูชันครอบคลุมกลไกแท่น ตัวควบคุม และการบูรณาการระบบแยกการสั่นเชิงรุก ประกอบและทดสอบทั้งหมดในสภาพแวดล้อมห้องสะอาด
- ความเสถียรระดับนาโนเมตร เคลื่อนที่และตั้งตัวระดับมิลลิวินาที (ms move-and-settle)
- การกำหนดค่าหลายแกนสั่งทำ XY / XYT / XYZT
- รองรับการจัดการ เวเฟอร์ 450mm
- สามารถบูรณาการตัวควบคุมและระบบแยกการสั่นเชิงรุกเข้ากับระบบ
- ประกอบ ทดสอบ และบรรจุในห้องสะอาด
- วงจรพัฒนาที่รวดเร็ว เพิ่มกำลังผลิตอย่างรวดเร็ว
รางเลื่อนลูกกลิ้งไขว้ Type R / RN
รางเลื่อนลูกกลิ้งไขว้ออกแบบสำหรับการใช้งานแท่นแม่นยำช่วงชักจำกัด Type R เป็นรางเลื่อนไร้แรงเสียดทานมาตรฐานแห่งแรกของโลก มีขนาดมาตรฐาน 1-12 ความยาว 20-1500mm Type RN มีขนาดเท่ากับ Type R แต่รับน้ำหนักได้ 3 เท่า เสริม FORMULA-S Cage Control เพื่อป้องกันการเลื่อนของรังลูกปืน
- Type R: ขนาดมาตรฐาน 1-12 ความยาว 20-1500 mm
- Type RN: ความสามารถรับน้ำหนัก 3 เท่า ทดแทน Type R ได้โดยตรง
- RN เสริม Cage Control (FORMULA-S) ได้
- สเปค FORMULA-S: 300 m/s², 1 m/s, สุญญากาศ 10⁻⁷ mbar
- อุณหภูมิใช้งาน -40°C ถึง +80°C
- รับแรงในแนวแกนและแนวรัศมีพร้อมกัน
รางนำทางหมุนเวียนขนาดเล็ก + ระบบวัดแบบบูรณาการ
รางนำทางหมุนเวียนขนาดเล็กใช้สำหรับการใช้งานช่วงชักยาว เช่น โครงอุปกรณ์และแกนขนส่ง MINISCALE PLUS บูรณาการเอ็นโค้ดเดอร์วัดภายในรางนำทาง MINIRAIL (ความละเอียด 0.1 µm) ให้สัญญาณป้อนกลับตำแหน่งสำหรับการควบคุมวงรอบปิด ทำให้การออกแบบระบบง่ายขึ้นและลดพื้นที่ติดตั้ง
- MINIRAIL: ความเร็ว ≤ 5 m/s ความเร่ง ≤ 300 m/s²
- ความละเอียดการวัด MINISCALE PLUS 0.1 µm
- ความเข้ากันได้กับสุญญากาศ 10⁻⁷ mbar (PEEK ดัดแปลงบรรลุ 10⁻⁹ mbar)
- MINISCALE PLUS ห้องสะอาด ISO 6-7 (ISO 14644-1)
- ไม่ต้องปรับแรงอัดล่วงหน้าแต่ละแกน ค่าแรงอัดล่วงหน้าสม่ำเสมอ
- แคร่สลับเปลี่ยนได้เต็มรูปแบบสำหรับการบำรุงรักษาในสถานที่สะดวก
ระบบสั่งทำ Schneeberger สำหรับการตรวจสอบและวัดเซมิคอนดักเตอร์
ต่อไปนี้เป็นระบบจัดตำแหน่งสั่งทำของ Schneeberger ที่เผยแพร่อย่างเป็นทางการสำหรับการตรวจสอบและวัดเซมิคอนดักเตอร์ แสดงพร้อมภาพถ่ายระบบผลิตภัณฑ์จริงที่ส่งมอบ
สำรวจความท้าทายทางเทคนิคที่เกี่ยวข้อง
ต้องการการจัดตำแหน่งแม่นยำสำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์หรือไม่?
ทีมวิศวกรการใช้งานของเราพร้อมให้คำปรึกษาทางเทคนิคและคำแนะนำในการเลือกผลิตภัณฑ์