ระบบจัดตำแหน่งสุญญากาศ
การใช้งานการนำทางเชิงเส้นแบบแม่นยำ
Schneeberger พัฒนาระบบจัดตำแหน่งแม่นยำสั่งทำที่สามารถทำงานที่แรงดันบางส่วนถึง 10⁻⁹ mbar ออกแบบสำหรับการตรวจสอบ e-beam, การวัด EUV, SEM และเครื่องมือวิทยาศาสตร์และเซมิคอนดักเตอร์อื่น ๆ ข้อพิจารณาหลักในการออกแบบรวมถึงความเข้ากันได้กับ EUV การควบคุมการปล่อยก๊าซ การจัดการความร้อน การเพิ่มประสิทธิภาพเวลาสูบสุญญากาศ การรับประกันเสถียรภาพ และการบรรเทาการรบกวนทางแม่เหล็ก
ความท้าทายของการนำทางเชิงเส้นในระบบจัดตำแหน่งสุญญากาศ
ระบบจัดตำแหน่งภายในห้องสุญญากาศต้องเอาชนะข้อกำหนดที่เข้มงวดรวมถึงแรงดันบางส่วนต่ำมาก การควบคุมการปล่อยก๊าซ การบรรเทาการรบกวนทางแม่เหล็ก และการประกอบในห้องสะอาด
แรงดันบางส่วนต่ำมาก
อุปกรณ์ตรวจสอบ e-beam และวัด EUV ต้องการระบบที่ทำงานอย่างเสถียรที่แรงดันบางส่วน 10⁻⁹ mbar วัสดุ สารหล่อลื่น และสายเคเบิลทั้งหมดต้องผ่านการตรวจสอบความเข้ากันได้กับสุญญากาศอย่างเข้มงวด
การควบคุมการปล่อยก๊าซ
Schneeberger กลึงชิ้นส่วนโครงสร้างอลูมิเนียมทั้งหมดภายใน รักษาการควบคุมอย่างเข้มงวดต่อแหล่งวัสดุและกระบวนการผลิตเพื่อให้มั่นใจว่าอัตราการปล่อยก๊าซตรงตามข้อกำหนดห้องสุญญากาศ
การบรรเทาการรบกวนทางแม่เหล็ก
อุปกรณ์ e-beam และ SEM มีความไวต่อการเปลี่ยนแปลงสนามแม่เหล็กอย่างมาก มอเตอร์เชิงเส้นที่ใช้ในระบบจัดตำแหน่งสุญญากาศต้องมีการออกแบบการป้องกันเฉพาะเพื่อป้องกันสนามแม่เหล็กจากการเบี่ยงเบนลำอิเล็กตรอน
การประกอบในห้องสะอาด
ระบบจัดตำแหน่งสุญญากาศประกอบ ทดสอบ และบรรจุในสภาพแวดล้อมห้องสะอาดเพื่อให้มั่นใจว่าส่งมอบปราศจากการปนเปื้อนอนุภาค
โซลูชันระบบจัดตำแหน่งสุญญากาศ
Schneeberger นำเสนอโซลูชันครบถ้วนตั้งแต่ระบบจัดตำแหน่งสุญญากาศหลายแกนสั่งทำไปจนถึงชิ้นส่วนมาตรฐานดัดแปลงสุญญากาศ ครอบคลุมระดับสุญญากาศตั้งแต่ 10⁻⁷ ถึง 10⁻⁹ mbar
ระบบจัดตำแหน่งสุญญากาศสั่งทำ
โซลูชันสั่งทำครบถ้วนตั้งแต่ XY สองแกนถึง 5 แกน (รวมเอียง) สามารถทำงานที่แรงดันบางส่วน 10⁻⁹ mbar ติดตั้งมอเตอร์เชิงเส้น (พร้อมการป้องกันแม่เหล็กเฉพาะ) และตัวขับเคลื่อนเพียโซ ชิ้นส่วนโครงสร้างอลูมิเนียมทั้งหมดกลึงภายใน Schneeberger
- แรงดันบางส่วนถึง 10⁻⁹ mbar เข้ากันได้กับ EUV
- การกำหนดค่า: XY / XYT / 5 แกน (รวมเอียง) / แกนตรี
- ตัวขับเคลื่อน: มอเตอร์เชิงเส้น (พร้อมการป้องกันแม่เหล็ก) + ตัวขับเคลื่อนเพียโซ
- ชิ้นส่วนอลูมิเนียมทั้งหมดกลึงภายในเพื่อควบคุมการปล่อยก๊าซ
- สายเคเบิลและขั้วต่อสุญญากาศเฉพาะ
- ประกอบ ทดสอบ และบรรจุในห้องสะอาด
แท่นไร้แรงเสียดทานขนาดเล็ก MINISLIDE MS
แท่นไร้แรงเสียดทานขนาดเล็กช่วงชักจำกัดที่ได้รับการรับรองอย่างเป็นทางการสำหรับสภาพแวดล้อมสุญญากาศสูงมาก มีรังลูกปืนพลาสติกแบบบูรณาการพร้อมฟังก์ชันจัดศูนย์ ร่อง Gothic arch ให้ความสามารถรับน้ำหนัก 15 เท่าของร่อง V 90°
- ได้รับการรับรองสำหรับ สุญญากาศสูงมาก
- ความกว้างราง 4 mm / 5 mm ความยาวระบบ 10–40 mm
- ความเร็ว ≤ 1 m/s ความเร่ง ≤ 50 m/s²
- ร่อง Gothic arch ความสามารถรับน้ำหนัก 15 เท่า
- ไม่มีระยะตาย เหล็กชุบแข็งทนการกัดกร่อน
- อุณหภูมิใช้งาน -40°C ถึง +80°C
MINIRAIL เวอร์ชันดัดแปลงสุญญากาศ
MINIRAIL มาตรฐานเข้ากันได้กับสุญญากาศถึง 10⁻⁷ mbar เวอร์ชันดัดแปลง PEEK สามารถบรรลุ 10⁻⁹ mbar โดยการถอดที่ปัดน้ำฝน เปลี่ยนสกรูระบายอากาศ และใช้บรรจุภัณฑ์ห้องสะอาด
- เวอร์ชันมาตรฐาน: 10⁻⁷ mbar
- เวอร์ชันดัดแปลง PEEK: 10⁻⁹ mbar
- ความเร็ว ≤ 5 m/s ความเร่ง ≤ 300 m/s²
- เสริม Cage Assist สำหรับเสถียรภาพการหมุนเวียนลูกบอล
- แคร่สลับเปลี่ยนได้เต็มรูปแบบ
- เวอร์ชัน LUBE-S ไม่เหมาะสำหรับสุญญากาศและห้องสะอาด
หมายเหตุ: MINIRAIL เป็นชิ้นส่วนรางเลื่อนเชิงเส้นแบบหมุนเวียน เหมาะสำหรับข้อกำหนดจัดตำแหน่งช่วงชักยาวบริเวณรอบนอกระบบสุญญากาศ สำหรับการจัดตำแหน่งหลายแกนภายในห้อง EUV/e-beam ให้ใช้ระบบจัดตำแหน่งสุญญากาศสั่งทำที่อธิบายข้างต้น
การใช้งานจริงของระบบจัดตำแหน่งสุญญากาศ
Schneeberger ได้บันทึกระบบจัดตำแหน่งสุญญากาศ 7 ระบบอย่างเป็นทางการ ครอบคลุมการตรวจสอบ e-beam, การวัด EUV, SEM และการใช้งานอื่น ๆ
สำรวจการใช้งานที่เกี่ยวข้อง
ต้องการโซลูชันจัดตำแหน่งสุญญากาศหรือไม่?
Schneeberger ให้บริการครบถ้วนตั้งแต่การหารือข้อกำหนดเบื้องต้นจนถึงการส่งมอบระบบ ติดต่อทีมวิศวกรของเราสำหรับโซลูชันระบบจัดตำแหน่งสุญญากาศที่เหมาะกับข้อกำหนดของคุณ