Ứng Dụng Ngành

Thiết Bị Đo Lường
Ứng Dụng Dẫn Hướng Tuyến Tính Chính Xác

Nghiên cứu trường hợp chính thức Schneeberger: Một nhà sản xuất giao thoa kế laser, sau khi đánh giá nhiều giải pháp thanh dẫn, đã chọn MINIRAIL làm dẫn hướng trục chính nhờ độ cứng vững và chạy êm. Độ gợn sóng chuyển động cực thấp của thanh dẫn đũa chéo Type R/RN khiến chúng trở thành lựa chọn hàng đầu cho định vị chính xác trong máy đo tọa độ (CMM), máy đo độ nhám bề mặt và bệ đo lường quang học. Ứng dụng ngành rộng rãi sử dụng thanh dẫn đũa chéo cho bệ XY kính hiển vi số, bệ quét rung kế laser Doppler và các định vị đo lường chính xác khác.

Yêu Cầu

Thách Thức Dẫn Hướng Tuyến Tính Trong Thiết Bị Đo Lường

Thiết bị đo lường đặt ra yêu cầu nghiêm ngặt về độ gợn sóng chuyển động, độ cứng vững, chạy êm và ổn định nhiệt cho hệ thống dẫn hướng tuyến tính — chất lượng thanh dẫn ảnh hưởng trực tiếp đến độ tin cậy đo lường.

Độ Gợn Sóng Chuyển Động Cực Thấp

Gợn sóng thanh dẫn = sai số đo lường

Độ gợn sóng chuyển động nhỏ trong quá trình di chuyển thanh dẫn trực tiếp chuyển thành sai số đo lường. Kết cấu không tuần hoàn của thanh dẫn đũa chéo loại bỏ xung tuần hoàn do tuần hoàn bi gây ra, mang lại chất lượng chuyển động nhất quán. Trong thiết bị công nghiệp tương tự, thanh dẫn đũa chéo được sử dụng rộng rãi cho bệ XY kính hiển vi số và định vị chính xác rung kế laser Doppler nhờ đặc tính gợn sóng cực thấp.

Độ Cứng Vững Cao & Tải Trọng Lớn

Ổn định dưới lực tiếp xúc

Lực phản lực phát sinh khi hệ thống đầu dò CMM tiếp xúc phôi yêu cầu thanh dẫn duy trì định vị ổn định dưới tải. Thanh dẫn đũa chéo chịu đồng thời lực dọc trục và hướng tâm. Type RN tải trọng gấp 3 lần Type R, cung cấp diện tích tiếp xúc lớn hơn và độ cứng vững cao hơn.

Chạy Êm

Chuyển động đều không rung

Đo lường quét (như máy đo độ nhám bề mặt và quét giao thoa kế) yêu cầu thanh dẫn cung cấp chuyển động đều không rung. Trong nghiên cứu trường hợp chính thức Schneeberger, nhà sản xuất giao thoa kế laser chọn MINIRAIL chủ yếu vì "độ cứng vững" và "chạy êm" của nó.

Ổn Định Nhiệt

Giới hạn hoạt động MINISCALE PLUS +80°C

Môi trường đo lường cực kỳ nhạy cảm với trôi nhiệt — giãn nở nhiệt của hệ thống dẫn hướng ảnh hưởng đến độ chính xác định vị. Hệ thống đo lường tích hợp MINISCALE PLUS có phạm vi nhiệt độ hoạt động -40°C đến +80°C với hệ số giãn nở nhiệt 11.7 × 10⁻⁶ K⁻¹, cung cấp phản hồi vị trí ổn định trong môi trường kiểm soát.

Giải Pháp Schneeberger

Giải Pháp Dẫn Hướng Tuyến Tính Cho Thiết Bị Đo Lường

Schneeberger cung cấp danh mục sản phẩm hoàn chỉnh từ thanh dẫn đũa chéo đến thanh dẫn bi tuần hoàn thu nhỏ và thanh dẫn lồng kim, đáp ứng yêu cầu chính xác và tải trọng của các thiết bị đo lường khác nhau.

Type R / RN

Thanh Dẫn Đũa Chéo Type R / RN

Thanh dẫn không ma sát tiêu chuẩn hóa đầu tiên trên thế giới. Đũa xếp chéo chịu đồng thời lực dọc trục và hướng tâm. Đặc tính gợn sóng chuyển động cực thấp khiến chúng lý tưởng cho định vị đo lường chính xác. Type RN tải trọng gấp 3 lần Type R, với tùy chọn FORMULA-S Cage Control ngăn chặn trôi lồng.

  • Thanh dẫn không ma sát tiêu chuẩn hóa đầu tiên trên thế giới (Type R)
  • Tải trọng Type RN gấp 3 lần Type R, diện tích tiếp xúc lớn hơn
  • Tùy chọn Cage Control (FORMULA-S thanh răng chống trôi)
  • Thông số FORMULA-S: gia tốc ≤ 300 m/s², tốc độ ≤ 1 m/s
  • Chịu tải đồng thời dọc trục và hướng tâm
  • Nhiệt độ hoạt động -40°C đến +80°C
  • Ứng dụng: bệ CMM, bệ giao thoa kế, thiết bị đo bề mặt
MINIRAIL

Thanh Dẫn Bi Tuần Hoàn Thu Nhỏ MINIRAIL

Sản phẩm trường hợp đo lường chính thức Schneeberger: Nhà sản xuất giao thoa kế laser chọn MINIRAIL vì độ cứng vững và chạy êm vượt trội, cuối cùng đạt được cải thiện độ chính xác đo lường, giảm thời gian lắp ráp và chi phí. Có thể kết hợp với mô-đun đo MINISCALE PLUS cho phản hồi vị trí thanh dẫn tích hợp.

  • Tốc độ ≤ 5 m/s, gia tốc ≤ 300 m/s²
  • Trường hợp chính thức: độ cứng vững và chạy êm là tiêu chí lựa chọn chính
  • Loại bỏ điều chỉnh tải trước từng trục, giá trị tải trước nhất quán
  • Tương thích với mô-đun đo MINISCALE PLUS (độ phân giải 0.1 µm)
  • Độ chính xác một chiều MINISCALE PLUS ±0.1 µm, hai chiều ±0.2 µm
  • Tùy chọn Cage Assist tăng cường ổn định tuần hoàn bi
  • Ứng dụng: giao thoa kế laser, bệ đo lường quang học, hệ thống quét
Type N/O

Thanh Dẫn Lồng Kim Type N/O

Tải trọng, độ cứng vững và độ chính xác tối đa. Lồng composite (thép + nhựa) của Schneeberger có lực cản dịch chuyển thấp hơn thanh dẫn đũa kim truyền thống toàn kim loại. Lý tưởng cho bệ đo lường chính xác yêu cầu tải trọng cao, như CMM phôi lớn hoặc thiết bị kiểm tra quang học tải nặng.

  • Tải trọng, độ cứng vững và độ chính xác tối đa
  • Lồng composite (thép + nhựa), lực cản dịch chuyển thấp hơn thanh dẫn đũa kim toàn kim loại truyền thống
  • Cùng quy trình lắp đặt với Type R / RN
  • Thiết kế hành trình giới hạn, phù hợp cho định vị đo lường điểm cố định
  • Ứng dụng: bệ đo lường chính xác tải cao, định vị phôi lớn
Trường Hợp Ứng Dụng

Ứng Dụng Dẫn Hướng Tuyến Tính Thực Tế Trong Thiết Bị Đo Lường

Dưới đây trình bày các kịch bản ứng dụng điển hình và điểm nổi bật kỹ thuật của hệ thống dẫn hướng tuyến tính chính xác trong thiết bị đo lường.

Hệ thống định vị chính xác Schneeberger cho đo lường wafer
Hệ Thống Chính Thức Schneeberger
Bệ Định Vị Đo Lường Wafer XYT
Hệ thống định vị chính xác Schneeberger cho kiểm tra và đo lường wafer. Bệ tích hợp đa trục XYT kết hợp dẫn hướng tuyến tính và hệ thống đo lường để mang lại định vị chính xác cao trong môi trường đo lường bán dẫn. Các hệ thống như vậy yêu cầu thanh dẫn với gợn sóng chuyển động cực thấp và độ cứng vững cao để đảm bảo chất lượng hình ảnh đo lường quang học và độ tin cậy đo lường.
Hệ Thống Định Vị Đo Lường Wafer Bệ XYT
Thiết bị cắt lát mỏng chính xác
Trường Hợp Chính Thức Schneeberger
Định Vị Chính Xác Máy Cắt Lát Mỏng
Trang công nghệ y tế Schneeberger liệt kê máy cắt lát mỏng là ứng dụng chính, mô tả chính thức yêu cầu "chạy êm, độ cứng vững cao." Máy cắt lát mỏng đẩy mẫu theo bước tăng dần mức micromet — thực chất là thiết bị định vị cấp đo lường chính xác nơi chạy êm của thanh dẫn trực tiếp quyết định độ đồng đều dày lát cắt.
Máy Cắt Lát Mỏng Chạy Êm Độ Cứng Vững Cao
Bệ lấy nét và quét kính hiển vi
Trường Hợp Chính Thức Schneeberger
Bệ Lấy Nét & Quét Kính Hiển Vi
Trang công nghệ y tế Schneeberger liệt kê kính hiển vi là kịch bản ứng dụng, bao gồm chức năng lấy nét và bệ quét. Trong thiết bị công nghiệp tương tự, thanh dẫn đũa chéo được sử dụng rộng rãi cho bệ XY kính hiển vi số — kết cấu không tuần hoàn loại bỏ rung xung tuần hoàn, ngăn mờ hình ảnh ở độ phóng đại cao. Rung kế laser Doppler và các thiết bị quét chính xác khác cũng sử dụng thanh dẫn đũa chéo cho ma sát động nhất quán và quét êm.
Kính Hiển Vi Bệ XY Đũa Chéo

Cần giải pháp dẫn hướng cho thiết bị đo lường?

Đội ngũ kỹ sư ứng dụng của chúng tôi sẵn sàng cung cấp tư vấn kỹ thuật và khuyến nghị lựa chọn sản phẩm

ESC
連結已複製!