Hệ Thống Định Vị Chân Không
Ứng Dụng Dẫn Hướng Tuyến Tính Chính Xác
Schneeberger phát triển hệ thống định vị chính xác tùy chỉnh có khả năng hoạt động ở áp suất riêng phần xuống đến 10⁻⁹ mbar, được thiết kế cho kiểm tra e-beam, đo lường EUV, SEM và các thiết bị bán dẫn và khoa học khác. Các cân nhắc thiết kế chính bao gồm tương thích EUV, kiểm soát thoát khí, quản lý nhiệt, tối ưu hóa thời gian bơm hút, đảm bảo độ ổn định và giảm thiểu nhiễu từ.
Thách Thức Dẫn Hướng Tuyến Tính Trong Hệ Thống Định Vị Chân Không
Hệ thống định vị bên trong buồng chân không phải vượt qua các yêu cầu nghiêm ngặt bao gồm áp suất riêng phần cực thấp, kiểm soát thoát khí, giảm thiểu nhiễu từ và lắp ráp phòng sạch — vượt xa thông số của thiết bị định vị khí quyển tiêu chuẩn.
Áp Suất Riêng Phần Cực Thấp
Thiết bị kiểm tra e-beam và đo lường EUV yêu cầu hệ thống hoạt động ổn định ở áp suất riêng phần 10⁻⁹ mbar. Tất cả vật liệu, chất bôi trơn và cáp phải qua kiểm tra tương thích chân không nghiêm ngặt để đảm bảo không làm ô nhiễm linh kiện quang học hoặc đầu dò.
Kiểm Soát Thoát Khí
Schneeberger gia công nội bộ tất cả các linh kiện kết cấu nhôm, duy trì kiểm soát nghiêm ngặt nguồn vật liệu và quy trình sản xuất để đảm bảo tốc độ thoát khí đáp ứng yêu cầu buồng chân không. Tối ưu hóa thời gian bơm hút cũng là yếu tố cân nhắc chính trong thiết kế hệ thống.
Giảm Thiểu Nhiễu Từ
Thiết bị e-beam và SEM cực kỳ nhạy cảm với biến đổi từ trường. Motor tuyến tính sử dụng trong hệ thống định vị chân không yêu cầu thiết kế che chắn chuyên biệt để ngăn từ trường làm lệch chùm electron hoặc ảnh hưởng chất lượng hình ảnh.
Lắp Ráp Phòng Sạch
Hệ thống định vị chân không được lắp ráp, kiểm tra và đóng gói trong môi trường phòng sạch để đảm bảo giao hàng không có ô nhiễm hạt. Cáp và đầu nối chân không chuyên dụng cũng được tích hợp trong điều kiện kiểm soát.
Giải Pháp Hệ Thống Định Vị Chân Không
Schneeberger cung cấp đầy đủ giải pháp từ hệ thống định vị chân không đa trục tùy chỉnh đến linh kiện tiêu chuẩn sửa đổi chân không, bao phủ mức chân không từ 10⁻⁷ đến 10⁻⁹ mbar.
Hệ Thống Định Vị Chân Không Tùy Chỉnh
Giải pháp tùy chỉnh hoàn chỉnh từ song trục XY đến 5 trục (bao gồm nghiêng), có khả năng hoạt động ở áp suất riêng phần 10⁻⁹ mbar. Trang bị motor tuyến tính (với che chắn từ chuyên dụng) và bộ truyền động piezo, cùng cáp chân không chuyên biệt. Tất cả linh kiện kết cấu nhôm được gia công nội bộ tại Schneeberger để kiểm soát thoát khí nghiêm ngặt. Hệ thống được lắp ráp, kiểm tra và đóng gói trong môi trường phòng sạch.
- Áp suất riêng phần xuống đến 10⁻⁹ mbar, tương thích EUV
- Cấu hình: XY / XYT / 5 trục (bao gồm nghiêng) / cổng trục
- Truyền động: motor tuyến tính (với che chắn từ) + bộ truyền động piezo
- Tất cả bộ phận nhôm gia công nội bộ để kiểm soát thoát khí
- Cáp và đầu nối chân không chuyên dụng
- Lắp ráp, kiểm tra và đóng gói phòng sạch
Bàn Trượt Vi Mô Không Ma Sát MINISLIDE MS
Bàn trượt vi mô không ma sát hành trình giới hạn được đánh giá chính thức cho môi trường chân không siêu cao. Tính năng lồng nhựa tích hợp với chức năng định tâm. Rãnh Gothic arch cung cấp tải trọng gấp 15 lần rãnh V 90°, với thiết kế độ rơ bằng không. Kết cấu không tuần hoàn về lý thuyết tạo ra ít hạt hơn thanh dẫn tuần hoàn.
- Được đánh giá cho chân không siêu cao (thông số chính thức)
- Chiều rộng thanh dẫn 4 mm / 5 mm, chiều dài hệ thống 10–40 mm
- Tốc độ ≤ 1 m/s, gia tốc ≤ 50 m/s²
- Rãnh Gothic arch, tải trọng gấp 15 lần
- Độ rơ bằng không, thép tôi cứng chống ăn mòn
- Nhiệt độ hoạt động -40°C đến +80°C
Phiên Bản Sửa Đổi Chân Không MINIRAIL
MINIRAIL tiêu chuẩn tương thích chân không đến 10⁻⁷ mbar. Phiên bản sửa đổi PEEK có thể đạt 10⁻⁹ mbar bằng cách loại bỏ gạt nước, thay thế vít thoát khí và sử dụng đóng gói phòng sạch. Phù hợp cho yêu cầu định vị hành trình dài bên ngoài hoặc ngoại vi buồng chân không.
- Phiên bản tiêu chuẩn: 10⁻⁷ mbar
- Phiên bản sửa đổi PEEK: 10⁻⁹ mbar (loại bỏ gạt nước, thay thế vít thoát khí, đóng gói phòng sạch)
- Tốc độ ≤ 5 m/s, gia tốc ≤ 300 m/s²
- Tùy chọn Cage Assist cho ổn định tuần hoàn bi
- Bệ trượt thay thế hoàn toàn
- Phiên bản LUBE-S không phù hợp cho chân không và phòng sạch
Lưu ý: MINIRAIL là linh kiện thanh dẫn tuyến tính tuần hoàn, phù hợp cho yêu cầu định vị hành trình dài ở ngoại vi hệ thống chân không. Cho định vị đa trục bên trong buồng EUV/e-beam, sử dụng hệ thống định vị chân không tùy chỉnh mô tả ở trên.
Ứng Dụng Hệ Thống Định Vị Chân Không Thực Tế
Schneeberger đã ghi nhận chính thức 7 hệ thống định vị chân không bao gồm kiểm tra e-beam, đo lường EUV, SEM và các ứng dụng khác. Dưới đây là các trường hợp tiêu biểu và danh mục hệ thống hoàn chỉnh.
Khám Phá Ứng Dụng Liên Quan
Cần Giải Pháp Định Vị Chân Không?
Schneeberger cung cấp dịch vụ toàn diện từ thảo luận thông số ban đầu đến giao hàng hệ thống. Liên hệ đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi để nhận giải pháp hệ thống định vị chân không phù hợp với yêu cầu của bạn.