Kiểm Tra & Đo Lường Bán Dẫn
Hệ Thống Định Vị Chính Xác Tùy Chỉnh
Semiconductor Inspection & Metrology — Custom Precision Positioning Systems
Với khoảng 40 năm kinh nghiệm trong hệ thống định vị bán dẫn, Schneeberger cung cấp bệ định vị chính xác tùy chỉnh với độ ổn định nanomet và thời gian di chuyển-ổn định mili giây. Các hệ thống này được ứng dụng trong kiểm tra mặt nạ quang, AOI wafer và đo lường quang học tự động cho thiết bị quy trình đầu vào. Đây không phải là linh kiện thanh dẫn tuyến tính sẵn có, mà là giải pháp định vị tùy chỉnh hoàn chỉnh bao gồm thiết kế, lắp ráp và kiểm tra.
Thách Thức Định Vị Trong Thiết Bị Kiểm Tra & Đo Lường Bán Dẫn
Kiểm tra mặt nạ quang, AOI wafer và thiết bị đo lường đặt ra yêu cầu cực kỳ nghiêm ngặt về độ ổn định, tốc độ và tích hợp hệ thống định vị, đòi hỏi giải pháp định vị tùy chỉnh chuyên biệt.
Độ Ổn Định Nanomet
Kiểm tra mặt nạ quang và đo lường wafer yêu cầu độ ổn định định vị dưới nanomet. Schneeberger tuyên bố: "Thế giới của độ ổn định nanomet ... là thế giới của chúng tôi." Đây là năng lực cốt lõi của hệ thống định vị tùy chỉnh và không thể đạt được với linh kiện thanh dẫn tuyến tính tiêu chuẩn.
Di Chuyển & Ổn Định Mili Giây
Thiết bị bán dẫn thông lượng cao đòi hỏi thời gian di chuyển-ổn định nhanh (trong mili giây) để duy trì thông lượng wafer mỗi giờ. Hệ thống tùy chỉnh Schneeberger tối ưu hóa biên dạng chuyển động và thông số điều khiển để đạt sự cân bằng giữa tốc độ cao và độ ổn định cao.
Tích Hợp Đa Trục
Thiết bị kiểm tra và đo lường thường yêu cầu phối hợp đa trục XY, XYT hoặc thậm chí XYZT. Schneeberger cung cấp giải pháp hệ thống tích hợp bao gồm cơ khí bệ, bộ điều khiển và cách ly rung chủ động, giảm nỗ lực tích hợp hệ thống phía khách hàng.
Lắp Ráp Phòng Sạch
Hệ thống định vị cấp bán dẫn phải được lắp ráp, kiểm tra và đóng gói trong môi trường phòng sạch để đảm bảo đáp ứng yêu cầu sạch sẽ khi giao hàng. Schneeberger duy trì quy trình sản xuất và kiểm soát chất lượng phòng sạch toàn diện.
Giải Pháp Định Vị Cho Kiểm Tra & Đo Lường Bán Dẫn
Từ hệ thống định vị tùy chỉnh hoàn chỉnh đến linh kiện thanh dẫn chính xác tiêu chuẩn, Schneeberger cung cấp giải pháp sản phẩm đa tầng để đáp ứng các yêu cầu tích hợp khác nhau.
Hệ Thống Định Vị Chính Xác
Bộ phận Hệ Thống Định Vị Chính Xác Schneeberger cung cấp giải pháp tùy chỉnh hoàn chỉnh từ cấu hình XY đến XYZT. Với khoảng 40 năm kinh nghiệm ngành SEMI, các hệ thống mang lại độ ổn định nanomet và thời gian di chuyển-ổn định mili giây, hỗ trợ wafer 450mm. Giải pháp bao gồm cơ khí bệ, bộ điều khiển và tích hợp cách ly rung chủ động, tất cả được lắp ráp và kiểm tra trong môi trường phòng sạch.
- Độ ổn định nanomet, di chuyển-ổn định mili giây
- Cấu hình tùy chỉnh đa trục XY / XYT / XYZT
- Hỗ trợ xử lý wafer 450mm
- Bộ điều khiển và cách ly rung chủ động có thể tích hợp vào hệ thống
- Lắp ráp, kiểm tra và đóng gói phòng sạch
- Chu kỳ phát triển nhanh, tăng sản lượng nhanh
Thanh Dẫn Đũa Chéo Type R / RN
Thanh dẫn đũa chéo được thiết kế cho ứng dụng bệ chính xác hành trình giới hạn. Type R là thanh dẫn không ma sát tiêu chuẩn hóa đầu tiên trên thế giới, có kích thước tiêu chuẩn 1-12, chiều dài 20-1500mm. Type RN có kích thước thay thế trực tiếp Type R, tải trọng gấp 3 lần, với tùy chọn FORMULA-S Cage Control ngăn chặn di chuyển lồng.
- Type R: kích thước tiêu chuẩn 1-12, chiều dài 20-1500 mm
- Type RN: tải trọng gấp 3 lần, thay thế trực tiếp Type R
- RN tùy chọn trang bị Cage Control (FORMULA-S)
- Thông số FORMULA-S: 300 m/s², 1 m/s, chân không 10⁻⁷ mbar
- Nhiệt độ hoạt động -40°C đến +80°C
- Chịu tải đồng thời dọc trục và hướng tâm
Thanh Dẫn Thu Nhỏ Tuần Hoàn + Đo Lường Tích Hợp
Thanh dẫn thu nhỏ tuần hoàn dùng cho ứng dụng hành trình dài như khung thiết bị và trục vận chuyển. MINISCALE PLUS tích hợp bộ mã hóa đo trong thanh dẫn MINIRAIL (độ phân giải 0.1 µm), cung cấp tín hiệu phản hồi vị trí cho điều khiển vòng kín, đơn giản hóa thiết kế hệ thống và giảm không gian lắp đặt.
- MINIRAIL: tốc độ ≤ 5 m/s, gia tốc ≤ 300 m/s²
- Độ phân giải đo MINISCALE PLUS 0.1 µm
- Tương thích chân không 10⁻⁷ mbar (phiên bản PEEK đạt 10⁻⁹ mbar)
- MINISCALE PLUS phòng sạch ISO 6-7 (ISO 14644-1)
- Loại bỏ điều chỉnh tải trước từng trục, giá trị tải trước nhất quán
- Bệ trượt thay thế hoàn toàn cho bảo trì tại chỗ thuận tiện
Hệ Thống Tùy Chỉnh Schneeberger Cho Kiểm Tra & Đo Lường Bán Dẫn
Dưới đây là các hệ thống định vị tùy chỉnh Schneeberger đã công bố chính thức cho kiểm tra và đo lường bán dẫn, tất cả đều hiển thị ảnh hệ thống sản phẩm thực tế đã giao hàng.
Khám Phá Thách Thức Kỹ Thuật Liên Quan
Cần định vị chính xác cho thiết bị bán dẫn?
Đội ngũ kỹ sư ứng dụng của chúng tôi sẵn sàng cung cấp tư vấn kỹ thuật và hướng dẫn lựa chọn sản phẩm