เซมิคอนดักเตอร์และกระบวนการเวเฟอร์
การใช้งานมอเตอร์ขับเคลื่อนตรง
Semiconductor & Wafer Processing — Direct Drive Applications
กระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ต้องการความสมดุลที่เข้มงวดระหว่างความแม่นยำในการจัดตำแหน่งระดับนาโนเมตร กำลังผลิตสูงและสภาพแวดล้อมสะอาด มอเตอร์เชิงเส้นแบบไร้แกนเหล็กและมีแกนเหล็กขับเคลื่อนการจัดตำแหน่งเวเฟอร์ AOI และแกนวางด้วยวิธีไร้การสัมผัส แบ็คแลชเป็นศูนย์และไดนามิกสูง ส่วนแอกชูเอเตอร์แกน Z ระยะชักสั้นสร้าง Pick & Place และการทดสอบด้วยโพรบที่รวดเร็ว
ความท้าทายในการขับเคลื่อนของกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์Drive challenges in semiconductor processing
การจัดตำแหน่งเวเฟอร์ การตรวจสอบและการวางมีความต้องการสูงมากในด้านความแม่นยำ ไดนามิก ความสะอาดและความราบรื่นในการเคลื่อนที่
ไดนามิกสูงและรอบการทำงานสั้นHigh Dynamics & Short Cycle Time
การขนถ่ายและการวางเวเฟอร์มุ่งสู่กำลังผลิตสูงสุด UPLplus มอเตอร์เชิงเส้นไร้แกนเหล็กมีอัตราส่วนแรงต่อมวลเพิ่มขึ้นถึง 42% ทำให้มวลเคลื่อนที่น้อยลงและรอบการทำงานสั้นลง บรรลุการจัดตำแหน่งไดนามิกสูง
จัดตำแหน่งแม่นยำไม่ล้ำตำแหน่งPrecise Positioning, No Overshoot
มอเตอร์ไร้แกนเหล็กไม่มีแรงค็อกกิ้งและแรงริปเปิล เคลื่อนที่ราบรื่นอย่างยิ่ง ซีรีส์ L1 แบบมีแกนเหล็กจัดตำแหน่งแม่นยำและไม่ล้ำตำแหน่ง การขับเคลื่อนตรงขจัดแบ็คแลชของชุดส่งกำลัง ความแม่นยำในการจัดตำแหน่งขึ้นอยู่กับระบบวัดไม่ใช่ชุดส่งกำลังเชิงกล
สะอาดและปราศจากอนุภาคClean & Particle-Free
คลีนรูมเซมิคอนดักเตอร์ต้องการความปราศจากการปนเปื้อนของอนุภาค มอเตอร์ขับเคลื่อนตรงส่งกำลังไร้การสัมผัส ไม่สึกหรอ ใช้ร่วมกับตลับลูกปืนลอยด้วยอากาศได้ แกน Z ของ LRAM ใช้ตลับลูกปืนลอยด้วยอากาศไร้แรงเสียดทาน เหมาะกับสภาพแวดล้อมกระบวนการที่ไวต่ออนุภาค
กะทัดรัดและมวลเคลื่อนที่ต่ำCompact & Low Moving Mass
แท่นเวเฟอร์หลายแกนมีพื้นที่จำกัด มวลของชิ้นส่วนปฐมภูมิ UPLplus เพียง 64 – 552 g L1A ความสูงติดตั้งเพียง 31 mm แอกชูเอเตอร์แกน Z มวลเคลื่อนที่ต่ำสุดเพียง 10 g (LRAM) เอื้อต่อการย่อขนาดและไดนามิกสูง
โซลูชันขับเคลื่อนตรงสำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์Direct drive solutions for semiconductor
มอเตอร์เชิงเส้นขับเคลื่อนแกนจัดตำแหน่งแนวนอน ระบบย่อยแกน Z เป็นแกนหยิบวางแนวตั้ง มอเตอร์ทอร์กแกนเหล็กไร้ร่องใช้กับการจัดตำแหน่งแบบหมุน
มอเตอร์เชิงเส้นไร้แกนเหล็กIronless Linear Motor
มอเตอร์เชิงเส้นไร้แกนเหล็กที่ผลิตด้วยเทคโนโลยีวงจรพิมพ์ อัตราส่วนแรงต่อมวลเพิ่มขึ้นถึง 42% ไม่มีแรงค็อกกิ้ง มวลเคลื่อนที่น้อย รอบการทำงานสั้น เหมาะกับการวางเซมิคอนดักเตอร์ Pick & Place การขับเคลื่อนแกน Z และเครื่องวัดและตรวจสอบ
- แรงสูงสุด 100 – 1,300 N แรงพิกัด 30 – 300 N
- ขนาด 30 / 60 / 80 mm ความเร็วสูงสุดถึง 30.4 m/s
- ไร้ค็อกกิ้ง (ออกแบบไร้แกนเหล็ก) เคลื่อนที่ราบรื่นอย่างยิ่ง
- มวลของชิ้นส่วนปฐมภูมิ 64 – 552 g
มอเตอร์เชิงเส้นแบบมีแกนเหล็กIron-Core Linear Motor
มอเตอร์เชิงเส้น AC ซิงโครนัสสามเฟสแม่เหล็กถาวรแบบมีร่อง ปรับให้เหมาะกับประสิทธิภาพสูงสุด ให้แรงสูงสุดในพื้นที่ที่จำกัด เว็บไซต์ทางการระบุการใช้งานในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ (PCB การจัดตำแหน่งเวเฟอร์ AOI) และระบบวางบนสายการผลิต
- แรงสูงสุด 169 – 5,171 N
- L1A ความสูงติดตั้งเพียง 31 mm อัตราส่วนแรงต่อมวลยอดเยี่ยม
- จัดตำแหน่งแม่นยำไม่ล้ำตำแหน่ง คุณสมบัติความเร็วคงที่ยอดเยี่ยม
- ปลอดการบำรุงรักษา แบ็คแลชเป็นศูนย์ เลือกระบายความร้อนเชิงรุกได้ (L1C)
แอกชูเอเตอร์แกน Z ระยะชักสั้นZ-Axis Short Stroke Actuators
LDDS-032 แกน Z มอเตอร์เชิงเส้นแบบมีร่องใช้กับ Pick & Place และรอบการทำงานที่รวดเร็ว LRAM แกน Z สเต็ปเปอร์ไฮบริดลอยด้วยอากาศ ความเร่งถึง 1,000 m/s² มวลเคลื่อนที่เพียง 10 g เหมาะกับการทดสอบด้วยโพรบและการขนถ่ายชิ้นส่วนน้ำหนักเบา
- LDDS-032 แรงสูงสุด 640 N ระยะชัก ±5.5 mm
- LRAM ความเร่งถึง 1,000 m/s² ตลับลูกปืนลอยด้วยอากาศไร้แรงเสียดทาน
- LRAM มวลเคลื่อนที่เพียง 10 g ระบบวัดแบบรีลักแตนซ์
- การใช้งาน: Pick & Place การทดสอบด้วยโพรบ
มอเตอร์ทอร์กแกนเหล็กไร้ร่องSlotless Torque Motor
มอเตอร์ AC ซิงโครนัสแม่เหล็กถาวรแกนเหล็กไร้ร่อง แรงดึงดูดต่ำ การเคลื่อนที่สม่ำเสมออย่างยิ่ง เหมาะกับการจัดตำแหน่งแบบหมุนทอร์กปานกลางที่แทบไม่มีแรงภายนอกในทิศทางการเคลื่อนที่ (เช่นการหมุนและจัดแนวเวเฟอร์) ออกแบบและเส้นผ่านศูนย์กลางยืดหยุ่นสูง จัดวางได้แบบแบนหรือร่วมแกน
- เส้นผ่านศูนย์กลาง 70 – 2,500 mm ทอร์ก 2 – 15,000 Nm
- ไร้ค็อกกิ้ง การเคลื่อนที่สม่ำเสมออย่างยิ่ง ซิงโครไนซ์ดีที่สุด
- ออกแบบแบบแบนหรือร่วมแกน ใช้กับการใช้งานความแม่นยำสูง
สถานการณ์การใช้งานทั่วไปในกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์Typical applications in semiconductor processing
การจัดตำแหน่งเวเฟอร์ AOI และการวางสอดคล้องกับการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์ที่ระบุบนเว็บไซต์ทางการของมอเตอร์เชิงเส้น Schaeffler ส่วนการตรวจสอบเวเฟอร์ การลิโทกราฟีเขียนตรง การตัด/ผ่าเวเฟอร์ การทดสอบด้วยโพรบ การอบอ่อนด้วยเลเซอร์และการเชื่อมไดย์เป็นความต้องการการเคลื่อนที่ขับเคลื่อนตรงของกระบวนการประเภทเดียวกันในอุตสาหกรรม จุดร่วมของกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์คือ "ความแม่นยำระดับนาโนเมตร × กำลังผลิตสูงสุด × การทำงานต่อเนื่อง 24/7 × สะอาด (บางส่วนต้องการสุญญากาศ)" มอเตอร์ขับเคลื่อนตรงตอบสนองทั้งสี่ข้อนี้พร้อมกันด้วยการเคลื่อนที่ที่ไร้ค็อกกิ้ง แบ็คแลชเป็นศูนย์และไม่สึกหรอจากการสัมผัส
เรียนรู้เพิ่มเติมเกี่ยวกับการใช้งานที่เกี่ยวข้องExplore related applications
ต้องการโซลูชันขับเคลื่อนตรงสำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์?
ทีมวิศวกรการใช้งานของเราพร้อมให้คำปรึกษาทางเทคนิคและคำแนะนำการเลือกผลิตภัณฑ์เสมอ