การตรวจสอบด้วยแสงและการวัด
การใช้งานระบบขับเคลื่อนตรง
Optical Inspection & Metrology — Direct Drive Applications
การตรวจสอบด้วยแสง AOI เครื่องวัดพิกัด และเครื่องทดสอบต้องการการเคลื่อนที่ที่ราบเรียบเป็นพิเศษ ปราศจากการสั่นสะเทือน ด้วยความเสถียรและความสามารถในการทำซ้ำระดับนาโนเมตร มอเตอร์ขับเคลื่อนตรงขจัดแบ็คแลชและฮิสเทอรีซิสของชุดส่งกำลัง: มอเตอร์เชิงเส้นไร้แกนเหล็กให้การเคลื่อนที่ปราศจากคอกกิ้ง มอเตอร์ไร้ร่อง RMK/RMF เคลื่อนที่สม่ำเสมอเป็นพิเศษ และระบบย่อยหมุน RDDS ทำหน้าที่เป็นโต๊ะทดสอบพร้อมใช้งาน — เพื่อให้แน่ใจว่าผลการวัดไม่ได้รับผลกระทบจากการสั่นสะเทือนของระบบขับเคลื่อน
ความท้าทายด้านการขับเคลื่อนในการวัดและตรวจสอบDrive challenges in metrology & inspection
แพลตฟอร์มการวัดและแกนตรวจสอบกำหนดความต้องการสูงสุดด้านความราบเรียบของการเคลื่อนที่ ความเสถียรของการจัดตำแหน่งและการบูรณาการ
การเคลื่อนที่ราบเรียบเป็นพิเศษ ปราศจากการสั่นสะเทือนUltra-Smooth, Vibration-Free Motion
การวัดและตรวจสอบไวต่อการสั่นสะเทือนอย่างยิ่ง มอเตอร์เชิงเส้นไร้แกนเหล็ก UPLplus ไม่มีแรงคอกกิ้งหรือแรงริปเปิล มอเตอร์แกนเหล็กไร้ร่อง RMK/RMF มีแรงดึงดูดต่ำและเคลื่อนที่สม่ำเสมอเป็นพิเศษ เพื่อให้แน่ใจว่าการสแกนและการวัดราบเรียบ
ความแม่นยำในการจัดตำแหน่งและการทำซ้ำPositioning Accuracy & Repeatability
การขับเคลื่อนตรงขจัดแบ็คแลชและฮิสเทอรีซิสของการส่งกำลัง ดังนั้นความแม่นยำในการจัดตำแหน่งจึงขึ้นอยู่กับระบบวัดโดยตรง ระบบย่อยที่มีระบบวัดในตัวให้การป้อนกลับตำแหน่งแบบวงปิดสำหรับการจัดตำแหน่งการวัดที่ทำซ้ำได้สูง
โต๊ะทดสอบพร้อมใช้งานReady-to-Use Testing Tables
การวัดและการทดสอบแบบหมุนต้องการโมดูลพร้อมใช้งานที่รวมมอเตอร์ ตลับลูกปืน ระบบวัดและระบบระบายความร้อน การใช้งานอย่างเป็นทางการของระบบย่อยขับเคลื่อนตรงแบบหมุน RDDS รวมถึงโต๊ะทดสอบ รองรับอุตสาหกรรมการวัด
บูรณาการกะทัดรัดและปลอดการบำรุงรักษาCompact Integration & Maintenance-Free
เครื่องมือวัดมีพื้นที่จำกัดและต้องการความเสถียรในระยะยาว การขับเคลื่อนตรงไร้การสัมผัส ปราศจากการสึกหรอและปลอดการบำรุงรักษา UPLplus กะทัดรัดและน้ำหนักเบา และแอคชูเอเตอร์แกน Z รวมระบบวัด เป็นประโยชน์ต่อการย่อขนาดและความสม่ำเสมอในระยะยาวของเครื่องมือวัด
โซลูชันระบบขับเคลื่อนตรงสำหรับการวัดและตรวจสอบDirect drive solutions for metrology & inspection
มอเตอร์เชิงเส้นเป็นแกนสแกน ระบบย่อย RDDS เป็นโต๊ะทดสอบแบบหมุน RMK/RMF สำหรับการหมุนที่สม่ำเสมอเป็นพิเศษ และแกน Z เป็นแกนยกตรวจสอบ
มอเตอร์เชิงเส้นไร้แกนเหล็กIronless Linear Motor
มอเตอร์เชิงเส้นไร้แกนเหล็กที่ไม่มีแรงคอกกิ้งหรือริปเปิล เคลื่อนที่ราบเรียบเป็นพิเศษ ระบุไว้อย่างชัดเจนสำหรับเครื่องวัดและตรวจสอบ ด้วยอัตราส่วนแรงต่อมวล +42% และมวลเคลื่อนที่ต่ำ เหมาะอย่างยิ่งสำหรับแกนสแกนไดนามิกสูงของ AOI และแพลตฟอร์มการวัดด้วยแสง
- แรงสูงสุด 100 – 1,300 N ความเร็วสูงสุด 30.4 m/s
- ไม่มีคอกกิ้ง (ออกแบบไร้แกนเหล็ก) การเคลื่อนที่ราบเรียบเป็นพิเศษ
- การใช้งาน OEM: เครื่องวัดและตรวจสอบ แบริ่งอากาศ
ระบบขับเคลื่อนตรงแบบหมุน RDDSRotary Direct Drive Systems
โมดูลหมุนพร้อมใช้งานที่รวมมอเตอร์ทอร์ก ตลับลูกปืนแม่นยำ ระบบวัดและระบบระบายความร้อน ด้วยการใช้งานอย่างเป็นทางการที่ระบุโต๊ะทดสอบอย่างชัดเจน รองรับอุตสาหกรรมการวัด ไร้แบ็คแลช ความแข็งสูงและทำงานราบเรียบ ทำให้เป็นโซลูชันพร้อมใช้งานสำหรับโต๊ะวัดแบบหมุนและจานหมุนทดสอบ
- RDDS1 Ø130 – 230 mm, RDDS2 Ø240 – 565 mm
- รวมมอเตอร์ + ตลับลูกปืน + ระบบวัด + ระบบระบายความร้อน
- ไร้แบ็คแลช ความแข็งสูง ทำงานราบเรียบ
- การใช้งานอย่างเป็นทางการ: โต๊ะทดสอบ อุตสาหกรรมการวัด
มอเตอร์ทอร์กแกนเหล็กไร้ร่องSlotless Torque Motor
มอเตอร์ AC ซิงโครนัสแม่เหล็กถาวรแกนเหล็กไร้ร่อง ด้วยแรงดึงดูดต่ำ การเคลื่อนที่สม่ำเสมอเป็นพิเศษและการซิงโครไนซ์ที่ดีที่สุด เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการวัดแบบหมุนที่มีความแม่นยำสูง โดยแทบไม่มีแรงภายนอกในทิศทางการเคลื่อนที่ ยืดหยุ่นสูงในการออกแบบและเส้นผ่านศูนย์กลาง บูรณาการเข้ากับกลไกการวัดได้แบบแบนหรือโคแอกเชียล
- เส้นผ่านศูนย์กลาง 70 – 2,500 mm ทอร์ก 2 – 15,000 Nm
- ไม่มีคอกกิ้ง การเคลื่อนที่สม่ำเสมอเป็นพิเศษ การซิงโครไนซ์ที่ดีที่สุด
- ออกแบบแบบแบนหรือโคแอกเชียล สำหรับการใช้งานความแม่นยำสูง
แอคชูเอเตอร์ระยะชักสั้นแกน ZZ-Axis Short Stroke Actuators
โมดูลแกน Z ของ Schaeffler ใช้ในการตรวจสอบด้วยแสงและเครื่องทดสอบ แกน Z วอยซ์คอยล์ LDDS-078 กะทัดรัด รวมระบบวัดและน่าเชื่อถือถึงหนึ่งพันล้านรอบ แกน Z แบริ่งอากาศ LRAM ไร้แรงเสียดทานด้วยมวลเคลื่อนที่เพียง 10 g เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการทดสอบโพรบและแกนยกตรวจสอบน้ำหนักเบา
- LDDS-078 ระยะชัก 5 mm ระบบวัดในตัว
- LRAM แบริ่งอากาศไร้แรงเสียดทาน ความเร่งสูงสุด 1,000 m/s²
- การใช้งาน: การตรวจสอบด้วยแสง เครื่องทดสอบ การทดสอบโพรบ
การใช้งานทั่วไปในการวัดและตรวจสอบTypical applications in metrology & inspection
การตรวจสอบ AOI เวเฟอร์ การสแกนด้วยแสง และการวัด/เจาะหลายชั้นล้วนทำได้ด้วยแพลตฟอร์มหลายแกนขับเคลื่อนตรง มอเตอร์เชิงเส้นไร้แกนเหล็กให้การเคลื่อนที่ราบเรียบปราศจากคอกกิ้งด้วยความเร็วสแกนคงที่ และแกนหมุนขับเคลื่อนตรงให้การจัดวางที่แม่นยำสูง เพื่อให้แน่ใจในคุณภาพภาพการวัดและการทำซ้ำ
สำรวจการใช้งานที่เกี่ยวข้องExplore related applications
ต้องการโซลูชันระบบขับเคลื่อนตรงสำหรับการวัดและตรวจสอบ?
ทีมวิศวกรรมการใช้งานของเราพร้อมให้คำปรึกษาทางเทคนิคและคำแนะนำในการเลือกผลิตภัณฑ์