첨단 패키징의 리니어 가이드 과제
이종 통합과 칩렛 아키텍처는 첨단 패키징 장비의 포지셔닝 정밀도, 장기 안정성 및 자동화 통합에 대해 극히 까다로운 요구사항을 야기합니다.
서브마이크론 정밀도
다이-투-웨이퍼 하이브리드 본딩은 칩렛-웨이퍼 본딩 면의 정확한 포지셔닝을 보장하기 위해 서브마이크론 정렬 정밀도가 필요합니다. 포지셔닝 시스템은 뛰어난 반복정밀도와 함께 초정밀 운동을 제공해야 합니다.
장기 안정성
첨단 패키징 장비는 양산 환경에서 연속 운전합니다. 포지셔닝 시스템은 장기 사용 후에도 정밀도 안정성을 유지하여 공정 수율과 제품 일관성을 보장해야 합니다.
원활한 자동화 통합
첨단 패키징 생산 라인은 포지셔닝 시스템이 완전 자동화 워크플로우에 원활하게 통합되어야 합니다 — 다이 픽앤플레이스부터 정렬, 본딩까지 각 단계가 정확하게 조율되어 수동 개입을 최소화합니다.
클린룸 운전
첨단 패키징 공정은 클린룸 환경에서 운영됩니다. 포지셔닝 시스템의 설계와 재료 선택은 입자 오염이 본딩 품질에 영향을 미치지 않도록 클린룸 요구사항을 충족해야 합니다.
첨단 패키징 리니어 가이드 솔루션
Schneeberger는 맞춤형 Zircon 시스템부터 표준 정밀 가이드웨이까지, 시스템 수준부터 모듈 수준의 포지셔닝까지 첨단 패키징 장비 요구를 충족하는 조합 솔루션을 제공합니다.
Zircon 맞춤형 포지셔닝 시스템
첨단 패키징용으로 특별히 개발된 Schneeberger 맞춤형 포지셔닝 시스템, 다이-투-웨이퍼 하이브리드 본딩에 사용. 서브마이크론 정밀도로 이종 통합, 칩렛 정렬 및 배치를 지원하며, 완전 자동화 운전.
- 서브마이크론 정밀도와 뛰어난 반복정밀도
- 다이-투-웨이퍼 하이브리드 본딩 전용
- AI 가속기 및 HPC 칩렛 통합 지원
- 5G 칩렛 정렬 및 이종 통합
- 양산을 위한 장기 안정성
- 클린룸 운전 및 완전 자동화 통합
Type RN (FORMULA-S) 크로스 롤러 가이드웨이
Type R 대비 3배 부하 용량의 정밀 유한 행정 크로스 롤러 가이드웨이. Cage Control(FORMULA-S) 선택 사양으로 케이지 이동을 방지하며, 본딩 장비의 정밀 스테이지 포지셔닝에 적합합니다.
- 부하 용량 Type R의 3배
- 속도 ≤ 1 m/s, 가속도 ≤ 300 m/s²
- Cage Control(FORMULA-S 랙 앤 피니언 이탈 방지) 선택 사양
- 진공 호환성 10⁻⁷ mbar
- Type R과 치수 호환(Size 3, 4, 6)
- 본딩 장비의 정밀 스테이지 포지셔닝에 적합
첨단 패키징의 실제 응용
아래는 첨단 패키징 분야에서 Schneeberger Zircon 맞춤형 포지셔닝 시스템의 대표적인 응용을 보여줍니다.
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