반도체 검사 및 계측
맞춤형 정밀 포지셔닝 시스템
Semiconductor Inspection & Metrology — Custom Precision Positioning Systems
약 40년의 반도체 포지셔닝 시스템 경험을 바탕으로, Schneeberger는 나노미터 안정성과 밀리초 이동-정착 시간을 갖춘 맞춤형 정밀 포지셔닝 플랫폼을 제공합니다. 이 시스템은 마스크 검사, 웨이퍼 AOI, 자동 광학 계측 등 전공정 장비에 적용됩니다. 기성 리니어 가이드 부품이 아닌, 설계, 조립, 테스트를 아우르는 완전한 맞춤형 포지셔닝 솔루션입니다.
반도체 검사 및 계측 장비의 포지셔닝 과제
마스크 검사, 웨이퍼 AOI 및 계측 장비는 포지셔닝 시스템의 안정성, 속도 및 통합도에 대해 극히 엄격한 요구사항을 부과하며, 전문적인 맞춤형 포지셔닝 솔루션이 필요합니다.
나노미터 안정성
마스크 검사 및 웨이퍼 계측은 서브 나노미터 수준의 위치 안정성이 필요합니다. Schneeberger는 "나노미터 안정성의 세계... 그것이 우리의 세계"라고 공식 선언합니다. 이는 맞춤형 포지셔닝 시스템의 핵심 역량이며, 표준 리니어 가이드 부품으로는 달성할 수 없습니다.
밀리초 이동 및 정착
고처리량 반도체 장비는 시간당 웨이퍼 처리량을 유지하기 위해 빠른 이동-정착 시간(밀리초)을 요구합니다. Schneeberger 맞춤형 시스템은 모션 프로파일과 제어 매개변수를 최적화하여 고속과 고안정성 간의 균형을 달성합니다.
다축 통합
검사 및 계측 장비는 일반적으로 XY, XYT 또는 XYZT 다축 연동이 필요합니다. Schneeberger는 플랫폼 메커니즘, 컨트롤러 및 능동 제진을 포함하는 통합 시스템 솔루션을 제공하여 고객 측의 시스템 통합 작업을 줄입니다.
클린룸 조립
반도체급 포지셔닝 시스템은 클린룸 환경에서 조립, 테스트 및 포장되어야 납품 시 청정도 요구사항을 충족합니다. Schneeberger는 포괄적인 클린룸 제조 및 품질 관리 프로세스를 갖추고 있습니다.
반도체 검사 및 계측 포지셔닝 솔루션
완전한 맞춤형 포지셔닝 시스템부터 표준 정밀 가이드웨이 부품까지, Schneeberger는 다양한 통합 요구사항을 충족하는 다층 제품 솔루션을 제공합니다.
정밀 포지셔닝 시스템
Schneeberger Precision Positioning Systems 사업부는 XY부터 XYZT까지의 완전한 맞춤형 솔루션을 제공합니다. 약 40년의 SEMI 산업 경험을 바탕으로 나노미터 안정성과 밀리초 이동-정착 시간을 제공하며, 450mm 웨이퍼를 지원합니다. 플랫폼 메커니즘, 컨트롤러 및 능동 제진 통합을 포함하며, 클린룸 환경에서 조립 및 테스트됩니다.
- 나노미터 안정성, 밀리초 이동-정착(ms move-and-settle)
- XY / XYT / XYZT 다축 맞춤형 구성
- 450mm 웨이퍼 처리 지원
- 컨트롤러 및 능동 제진 시스템 통합 가능
- 클린룸 조립, 테스트 및 포장
- 신속한 개발 주기, 빠른 양산 확대
크로스 롤러 가이드웨이 Type R / RN
유한 행정 정밀 스테이지 설계를 위한 크로스 롤러 가이드웨이. Type R은 세계 최초의 표준화된 무마찰 가이드웨이로, 표준 사이즈 1-12, 길이 20-1500mm. Type RN은 Type R과 치수 호환되며 부하 용량 3배, FORMULA-S Cage Control 선택 사양으로 케이지 이동을 방지합니다.
- Type R: 표준 사이즈 1-12, 길이 20-1500 mm
- Type RN: 부하 용량 3배, Type R 직접 교체 가능
- RN Cage Control (FORMULA-S) 선택 장착 가능
- FORMULA-S 사양: 300 m/s², 1 m/s, 진공 10⁻⁷ mbar
- 작동 온도 -40°C ~ +80°C
- 축방향 및 반경 방향 하중 동시 지지
순환식 소형 가이드웨이 + 통합 측정
순환식 소형 가이드웨이는 장비 프레임 및 이송축 등 장행정 응용에 사용됩니다. MINISCALE PLUS는 MINIRAIL 가이드웨이 내에 측정 엔코더를 통합하여(분해능 0.1 µm) 폐루프 제어를 위한 위치 피드백 신호를 제공하며, 시스템 설계를 단순화하고 설치 공간을 줄입니다.
- MINIRAIL: 속도 ≤ 5 m/s, 가속도 ≤ 300 m/s²
- MINISCALE PLUS 측정 분해능 0.1 µm
- 진공 호환 10⁻⁷ mbar(PEEK 개조 시 10⁻⁹ mbar 달성)
- MINISCALE PLUS 클린룸 ISO 6-7 (ISO 14644-1)
- 개별 축 예압 조정 불필요, 일관된 예압 값
- 완전 호환 캐리지로 현장 유지보수 용이
Schneeberger 반도체 검사 및 계측 맞춤형 시스템
아래는 Schneeberger에서 공식 공개한 반도체 검사 및 계측 맞춤형 포지셔닝 시스템으로, 모두 실제 납품된 제품 시스템 사진입니다.
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