진공 포지셔닝 시스템의 리니어 가이드 과제
진공 챔버 내부의 포지셔닝 시스템은 초저 분압, 탈가스 제어, 자기 간섭 억제 및 클린룸 조립을 포함한 엄격한 요구사항을 극복해야 하며, 이는 일반 대기 환경 포지셔닝 장비의 사양을 훨씬 초과합니다.
초저 분압
E-beam 검사 및 EUV 계측 장비는 시스템이 10⁻⁹ mbar 분압에서 안정적으로 작동해야 합니다. 모든 재료, 윤활제 및 케이블은 엄격한 진공 호환성 검증을 통과하여 광학 부품이나 검출기의 오염을 방지해야 합니다.
탈가스 제어
Schneeberger는 모든 알루미늄 구조 부품을 자체 가공하여 재료 원산지와 제조 공정을 엄격히 관리하며, 탈가스율이 진공 챔버 요구사항을 충족하도록 합니다. 배기 시간 최적화도 시스템 설계의 핵심 고려사항입니다.
자기 간섭 억제
E-beam 및 SEM 장비는 자기장 변화에 극히 민감합니다. 진공 포지셔닝 시스템에 사용되는 리니어 모터는 자기장이 전자빔을 편향시키거나 이미지 품질에 영향을 미치는 것을 방지하기 위해 전용 차폐 설계가 필요합니다.
클린룸 조립
진공 포지셔닝 시스템은 클린룸 환경에서 조립, 테스트 및 포장되어 입자 오염 없이 납품됩니다. 전용 진공 케이블 및 커넥터도 통제된 환경에서 통합됩니다.
진공 포지셔닝 시스템 솔루션
Schneeberger는 맞춤형 다축 진공 포지셔닝 시스템부터 진공 개조 표준 부품까지 10⁻⁷ ~ 10⁻⁹ mbar 진공 등급을 아우르는 완전한 솔루션을 제공합니다.
맞춤형 진공 포지셔닝 시스템
XY 2축부터 5축(틸트 포함)까지의 완전한 맞춤형 솔루션으로, 10⁻⁹ mbar 분압에서 작동 가능합니다. 리니어 모터(전용 자기 차폐 포함) 및 피에조 구동 유닛과 전용 진공 케이블을 갖추고 있습니다. 모든 알루미늄 구조 부품은 Schneeberger 자체에서 가공하여 탈가스를 엄격히 제어합니다. 클린룸 환경에서 조립, 테스트 및 포장됩니다.
- 분압 10⁻⁹ mbar, EUV 호환
- 구성: XY / XYT / 5축(틸트 포함) / 갠트리
- 구동: 리니어 모터(자기 차폐 포함) + 피에조 구동 유닛
- 모든 알루미늄 부품 자체 가공, 탈가스 제어
- 전용 진공 케이블 및 커넥터
- 클린룸 조립, 테스트, 포장
MINISLIDE MS 마이크로 무마찰 테이블
초고진공 환경용으로 공식 인증된 유한 행정 마이크로 무마찰 테이블. 센터링 기능이 통합된 일체형 플라스틱 케이지를 특징으로 합니다. 고딕 아치형 홈은 90° V홈 대비 15배의 부하 용량을 제공하며, 제로 백래시 설계입니다. 비순환식 구조로 순환식 가이드웨이보다 이론적으로 입자 발생이 적습니다.
- 초고진공 대응(공식 사양)
- 레일 폭 4 mm / 5 mm, 시스템 길이 10-40 mm
- 속도 ≤ 1 m/s, 가속도 ≤ 50 m/s²
- 고딕 아치형 홈, 15배 부하 용량
- 제로 백래시, 부식 방지 경화강
- 작동 온도 -40°C ~ +80°C
MINIRAIL 진공 개조 버전
표준 MINIRAIL은 10⁻⁷ mbar까지 진공 호환됩니다. PEEK 개조 버전은 와이퍼 제거, 벤팅 스크류 교체 및 클린룸 포장을 통해 10⁻⁹ mbar까지 달성할 수 있습니다. 진공 챔버 외부 또는 주변 장비의 장행정 포지셔닝 요구에 적합합니다.
- 표준 버전: 10⁻⁷ mbar
- PEEK 개조 버전: 10⁻⁹ mbar(와이퍼 제거, 벤팅 스크류 교체, 클린룸 포장)
- 속도 ≤ 5 m/s, 가속도 ≤ 300 m/s²
- Cage Assist 선택 사양으로 볼 순환 안정성 향상
- 완전 호환 캐리지
- LUBE-S 버전은 진공 및 클린룸에 부적합
참고: MINIRAIL은 순환식 리니어 가이드 부품으로, 진공 시스템 주변의 장행정 포지셔닝 요구에 적합합니다. EUV/e-beam 챔버 내부의 다축 포지셔닝에는 위의 맞춤형 진공 포지셔닝 시스템을 사용하십시오.
진공 포지셔닝 시스템의 실제 응용 시나리오
Schneeberger는 e-beam 검사, EUV 계측, SEM 등의 응용을 포함하는 7대의 진공 포지셔닝 시스템을 공식 기록했습니다. 아래는 대표 사례 및 전체 시스템 목록입니다.
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