진공도 10⁻³ ~ 10⁻⁹ mbar

식각, 증착, 리소그래피용 반도체 웨이퍼 제조 공정 챔버는 고진공(10⁻⁶ ~ 10⁻⁷ mbar) 환경에서 작동합니다. 베어링 아웃가스 오염은 웨이퍼 수율 손실의 잠재적 원인입니다. myonic 진공 베어링은 아웃가스 방지 PVD 코팅과 클린룸 조립을 사용하며, 저입자 방출 설계와 결합하여 공정 챔버 청정도와 나노미터 수준의 위치 결정 반복성을 보장합니다 — 로봇 암, 웨이퍼 이송 메커니즘, 진공 로드 록에 적합합니다.

우주 환경은 거의 완전한 진공(10⁻⁹ ~ 10⁻¹⁰ mbar)으로, 베어링은 어떠한 유지보수 없이 장기간 안정적으로 작동해야 합니다. myonic ULQW 917 X 베어링은 NASA 큐리오시티 화성 탐사 로버와 인도 망갈리안 탐사선에 탑재되어 진공, 방사선, 극한 온도의 복합 환경에서 설계 수명을 초과하여 작동하고 있습니다. 위성 자세 제어 시스템(리액션 휠, 모멘텀 휠)은 수년간의 대기 모드 후에도 즉시 고장 없이 기동할 수 있는 베어링을 필요로 하며, 고체 윤활의 장기 유지는 핵심 설계 지표입니다.

플라이휠 에너지 저장 시스템(Flywheel UPS)은 일반적으로 풍손을 제거하고 최대 저장 효율을 달성하기 위해 진공 챔버에서 작동합니다. 초정밀 앵귤러 컨택트 베어링은 고속 회전 동심도 유지에 매우 중요합니다 — 표준 레이디얼 베어링과 비교하여 정밀 앵귤러 컨택트 베어링은 내부 간극을 효과적으로 제거하고 볼 미끄러짐을 줄여 시스템 신뢰성을 향상시킵니다. myonic은 PFPE 저증기압 윤활제 또는 고체 코팅 선택, 예압 설계, 장수명 검증을 포함한 플라이휠 진공 베어링의 종합 엔지니어링 컨설팅을 제공합니다.