Ứng Dụng Ngành

Sản Xuất Bán Dẫn
Ứng Dụng Ổ Bi Thu Nhỏ

Thiết bị xử lý wafer bán dẫn vận hành trong môi trường chân không cao 10⁻⁷ mbar, với thiết bị quang khắc đòi hỏi độ lặp lại cấp nanomet. Bất kỳ rung động nhỏ hay ô nhiễm bay hơi nào cũng có thể trực tiếp gây ra khuyết tật wafer, dẫn đến tổn thất phế phẩm đáng kể. Đây là một trong những môi trường công nghiệp khắt khe nhất đối với việc lựa chọn vật liệu, thiết kế bôi trơn và kiểm soát độ chính xác của ổ bi thu nhỏ.

Xem Trường Hợp Ứng Dụng Giải Pháp
Yêu Cầu

Thách thức cho ổ bi trong ứng dụng bán dẫn

Thiết bị sản xuất bán dẫn đòi hỏi ổ bi đồng thời tương thích chân không, đạt độ chính xác cấp nanomet, phù hợp phòng sạch và có độ tin cậy cực cao.

Môi Trường Chân Không

Chân không cao 10⁻⁷ mbar

Thiết bị khắc wafer, lắng đọng màng mỏng và quang khắc đều vận hành trong buồng chân không cao. Vật liệu ổ bi và chất bôi trơn phải có độ bay hơi cực thấp (thoát khí thấp) để ngăn khí thoát ra làm ô nhiễm môi trường quy trình.

Độ Chính Xác Cấp Nanomet

Độ lặp lại cấp nanomet

Bàn định vị wafer trong quang khắc EUV/DUV đòi hỏi độ lặp lại cấp nanomet. Bất kỳ rung động nhỏ nào cũng có thể gây bất thường về độ rộng đường mạch. Kiểm soát NRRO (độ đảo không lặp lại) của ổ bi chính xác là nền tảng cho độ chính xác của hệ thống.

Tương Thích Phòng Sạch

Thiết kế phát thải hạt thấp

Phòng sạch bán dẫn có giới hạn nghiêm ngặt về hạt trong không khí. Ổ bi tiết diện mỏng cho cánh tay robot vận chuyển wafer đòi hỏi thiết kế phát thải hạt thấp để ngăn hạt mài mòn từ ổ bi làm ô nhiễm bề mặt wafer.

Độ Tin Cậy Cao & Tuổi Thọ Dài

Vận hành liên tục hơn 40,000 giờ

Thiết bị bán dẫn có chi phí đầu tư cực cao, và chi phí dừng máy ngoài kế hoạch không chỉ gồm chi phí sửa chữa mà còn là tổn thất do toàn bộ dây chuyền sản xuất ngừng hoạt động. Hệ thống ổ bi được thiết kế tốt có thể đạt hơn 40,000 giờ vận hành liên tục không lỗi.

Giải Pháp myonic

Giải pháp ổ bi cho ứng dụng bán dẫn

myonic cung cấp giải pháp ổ bi thu nhỏ chuyên dụng cho môi trường chân không, phòng sạch và thiết bị bán dẫn độ chính xác cao, bao gồm giải pháp hoàn chỉnh về lựa chọn vật liệu, thiết kế bôi trơn và tối ưu hóa kích thước.

Cấp Chân Không

Ổ Bi Cấp Chân Không

Ổ bi được thiết kế riêng cho buồng chân không trong sản xuất bán dẫn, sử dụng vật liệu có độ bay hơi thấp và bôi trơn tương thích chân không. Lớp phủ bạc (Ag) hoặc bôi trơn rắn molypden disulfua (MoS₂) cho môi trường chân không siêu cao, mỡ chân không PFPE cho môi trường chân không trung bình.

  • Bôi trơn rắn bạc (Ag) hoặc MoS₂ cho 10⁻⁷ mbar trở xuống
  • Vật liệu thép không gỉ hoặc gốm lai thoát khí thấp
  • Tùy chọn lớp phủ PVD chống thoát khí
  • Phù hợp cho buồng khắc, thiết bị lắng đọng CVD/PVD
  • Giải pháp tốc độ cao bôi trơn không dầu cho bơm phân tử tuabin
Sản Phẩm Tài Liệu
Gốm Lai

Ổ Bi Gốm Lai Cho Phòng Sạch

Ổ bi với bi gốm silicon nitride (Si₃N₄) có mức phát thải hạt thấp hơn, cách điện tốt hơn và tuổi thọ dài hơn, đặc biệt phù hợp cho cánh tay robot vận chuyển wafer và thiết bị đánh bóng cơ hóa học CMP trong môi trường phòng sạch.

  • Bi gốm Si₃N₄ với mức phát thải hạt cực thấp
  • Cách điện ngăn ngừa hư hại wafer do phóng tĩnh điện
  • Thiết kế tiết diện mỏng phù hợp với cấu trúc cánh tay robot nhỏ gọn
  • Phù hợp cho đầu đánh bóng CMP và thiết bị quay sấy
  • Hệ số ma sát thấp giảm phát sinh hạt
Sản Phẩm Tài Liệu
Độ Chính Xác Cao

Ổ Bi Độ Chính Xác Cao Cho Bàn Quang Khắc

Ổ bi độ chính xác cao được thiết kế cho hệ thống định vị wafer trong quang khắc EUV/DUV, đảm bảo độ lặp lại định vị cấp nanomet thông qua kiểm soát nghiêm ngặt độ đảo không lặp lại NRRO. Cấu hình tải trước cao hơn giúp nâng cao thêm độ cứng vững và độ chính xác của hệ thống.

  • Kiểm soát độ đảo không lặp lại NRRO cấp nanomet
  • Cấu hình tải trước chính xác nâng cao độ cứng vững của hệ thống
  • Phù hợp cho nền tảng máy quét EUV/DUV
  • Thiết kế chuyên dụng cho hệ thống vận chuyển FOUP và reticle
  • Độ lặp lại định vị cao loại bỏ nguồn gây khuyết tật quy trình
Sản Phẩm Tài Liệu
Trường Hợp Ứng Dụng

Ứng dụng ổ bi bán dẫn thực tế

Dưới đây trình bày các kịch bản ứng dụng điển hình và điểm nổi bật kỹ thuật của ổ bi thu nhỏ trong thiết bị sản xuất bán dẫn.

Buồng chân không xử lý wafer bán dẫn
Buồng Chân Không
Thiết Bị Khắc Wafer & Lắng Đọng Màng Mỏng
Buồng chân không của thiết bị khắc và lắng đọng hơi hóa học (CVD) vận hành ở 10⁻⁷ mbar trở xuống. Ổ bi của cơ cấu truyền động phải sử dụng bôi trơn rắn hoặc mỡ chân không đặc biệt để ngăn khí bay hơi làm ô nhiễm buồng quy trình, đồng thời duy trì vận hành ổn định trong môi trường nhiệt độ cao.
10⁻⁷ mbar Bôi Trơn Rắn Chân Không Nhiệt Độ Cao
Hệ thống vận chuyển wafer FOUP trong phòng sạch
Quang Khắc
Hệ Thống Vận Chuyển FOUP & Reticle — Định Vị Chính Xác Trong Phòng Sạch
Hệ thống vận chuyển hộp chứa wafer FOUP và cơ cấu xử lý reticle trong quang khắc sử dụng ổ bi thu nhỏ (đường kính lỗ 5-20 mm) để định vị chính xác trong môi trường phòng sạch. Ổ bi gốm lai tiết diện mỏng bảo vệ bề mặt wafer và reticle nhờ phát thải hạt thấp, với cấu hình tải trước nâng cao độ cứng vững định vị và độ lặp lại của hệ thống vận chuyển.
Ổ Bi Tiết Diện Mỏng Gốm Lai Vận Chuyển FOUP Phát Thải Hạt Thấp
Cánh tay robot vận chuyển wafer
Vận Chuyển Wafer
Cánh Tay Robot Vận Chuyển Wafer Trong Phòng Sạch
Cánh tay robot vận chuyển wafer hoạt động thường xuyên trong môi trường phòng sạch Class 1. Ổ bi gốm lai tiết diện mỏng không chỉ đáp ứng yêu cầu không gian của cấu trúc cánh tay nhỏ gọn mà còn bảo vệ bề mặt wafer khỏi ô nhiễm nhờ mức phát thải hạt cực thấp, trở thành cấu hình tiêu chuẩn cho các quy trình front-end bán dẫn hiện đại.
Ổ Bi Tiết Diện Mỏng Gốm Lai Phát Thải Hạt Thấp
Ổ bi bơm phân tử tuabin
Bơm Chân Không
Bơm Phân Tử Tuabin — Chân Không Cao Không Dầu Tốc Độ Siêu Cao
Bơm phân tử tuabin loại ổ bi là linh kiện then chốt để duy trì chân không cao trong thiết bị bán dẫn, với tốc độ đạt hàng chục nghìn rpm dưới điều kiện bôi trơn không dầu. Ổ bi thu nhỏ bằng gốm hoặc gốm lai (đường kính lỗ 8-20 mm) với giải pháp bôi trơn rắn mang lại tuổi thọ vận hành liên tục trên 40,000 giờ trong môi trường chân không, là giải pháp thay thế đã được kiểm chứng cho loại từ trường.
Loại Ổ Bi Lỗ 8-20 mm Bôi Trơn Rắn Hơn 40,000 Giờ
Ứng Dụng Liên Quan

Khám phá thêm ứng dụng ổ bi thu nhỏ

Robot Động Cơ Điện Hàng Không Vũ Trụ

Một số hình ảnh trên trang này là minh họa được tạo bởi AI, sử dụng khi không có sẵn ảnh thực tế. Chúng chỉ mang tính tham khảo trực quan và không đại diện cho hình dáng hoặc thông số kỹ thuật thực tế của sản phẩm.

Bạn cần giải pháp ổ bi thu nhỏ?

Đội ngũ kỹ sư ứng dụng của chúng tôi sẵn sàng cung cấp tư vấn kỹ thuật và hướng dẫn lựa chọn sản phẩm

Liên Hệ Quay Lại Tổng Quan
ESC