Kiểm tra quang học và đo lường
Ứng dụng động cơ truyền động trực tiếp
Optical Inspection & Metrology — Direct Drive Applications
Kiểm tra quang học AOI, máy đo tọa độ và máy kiểm tra đòi hỏi chuyển động cực kỳ êm ái, không rung động, đồng thời có độ ổn định và độ lặp lại cấp nano. Động cơ truyền động trực tiếp loại bỏ khe hở và độ trễ của chuỗi truyền động, động cơ tuyến tính không lõi sắt chuyển động không khe răng, động cơ không rãnh RMK/RMF chuyển động cực kỳ đồng đều, hệ thống con quay RDDS làm bàn kiểm tra sẵn dùng — đảm bảo kết quả đo lường không bị ảnh hưởng bởi rung động truyền động.
Thách thức truyền động của đo lường và kiểm traDrive challenges in metrology & inspection
Nền tảng đo lường và trục kiểm tra có yêu cầu cực cao về độ êm ái chuyển động, độ ổn định định vị và mức độ tích hợp.
Chuyển động cực êm ái không rungUltra-Smooth, Vibration-Free Motion
Đo lường và kiểm tra cực kỳ nhạy cảm với rung động. Động cơ tuyến tính không lõi sắt UPLplus không có lực khe răng và lực gợn sóng; động cơ lõi sắt không rãnh RMK/RMF lực hút thấp, chuyển động cực kỳ đồng đều, đảm bảo quá trình quét và đo lường mượt mà.
Độ chính xác định vị và độ lặp lại caoPositioning Accuracy & Repeatability
Truyền động trực tiếp loại bỏ khe hở và độ trễ truyền động, độ chính xác định vị phụ thuộc trực tiếp vào hệ thống đo lường. Hệ thống con tích hợp đo lường cung cấp phản hồi vị trí vòng kín, đạt định vị đo lường độ lặp lại cao.
Bàn kiểm tra quay sẵn dùngReady-to-Use Testing Tables
Đo lường và kiểm tra quay cần module sẵn dùng tích hợp động cơ, ổ trục, đo lường và làm mát. Ứng dụng chính hãng của hệ thống con truyền động trực tiếp quay RDDS bao gồm bàn kiểm tra (testing tables), phục vụ ngành đo lường (metrology).
Tích hợp gọn nhẹ và miễn bảo trìCompact Integration & Maintenance-Free
Thiết bị đo lường hạn chế không gian và yêu cầu ổn định lâu dài. Truyền động trực tiếp không tiếp xúc mài mòn, miễn bảo trì; UPLplus gọn nhẹ, bộ truyền động trục Z tích hợp hệ thống đo lường, thuận lợi cho thu nhỏ thiết bị đo lường và nhất quán lâu dài.
Giải pháp truyền động trực tiếp cho đo lường và kiểm traDirect drive solutions for metrology & inspection
Động cơ tuyến tính làm trục quét, hệ thống con RDDS làm bàn kiểm tra quay, RMK/RMF làm quay cực đồng đều, trục Z làm trục nâng hạ kiểm tra.
Động cơ tuyến tính không lõi sắtIronless Linear Motor
Động cơ tuyến tính không lõi sắt không lực khe răng, không lực gợn sóng, chuyển động cực kỳ êm ái, website nêu rõ ứng dụng trong máy đo lường và kiểm tra. Tỷ lệ lực/khối lượng +42%, khối lượng di chuyển nhỏ, phù hợp trục quét độ động cao của AOI và nền tảng đo lường quang học.
- Lực đỉnh 100 – 1.300 N, tốc độ đạt 30,4 m/s
- Không khe răng (thiết kế không lõi sắt), chuyển động cực kỳ êm ái
- Ứng dụng website: máy đo lường và kiểm tra, ổ khí nổi
Hệ thống con truyền động trực tiếp quay RDDSRotary Direct Drive Systems
Module quay sẵn dùng tích hợp động cơ mô-men xoắn, ổ trục chính xác, đo lường và làm mát, ứng dụng chính hãng nêu rõ bàn kiểm tra (testing tables), phục vụ ngành đo lường (metrology). Không khe hở ngược, độ cứng vững cao, vận hành êm ái, làm giải pháp lắp là dùng cho bàn đo lường quay và bàn xoay kiểm tra.
- RDDS1 Ø130 – 230 mm, RDDS2 Ø240 – 565 mm
- Tích hợp động cơ + ổ trục + đo lường + làm mát
- Không khe hở ngược, độ cứng vững cao, vận hành êm ái
- Ứng dụng chính hãng: bàn kiểm tra, ngành metrology
Động cơ mô-men xoắn lõi sắt không rãnhSlotless Torque Motor
Động cơ đồng bộ AC lõi sắt không rãnh nam châm vĩnh cửu, lực hút thấp, chuyển động cực kỳ đồng đều, đồng bộ tối ưu, phù hợp đo lường quay độ chính xác cao hầu như không có ngoại lực theo hướng chuyển động. Thiết kế và đường kính linh hoạt cao, có thể cấu hình phẳng hoặc đồng trục tích hợp vào cơ cấu đo lường.
- Đường kính 70 – 2.500 mm, mô-men xoắn 2 – 15.000 Nm
- Không khe răng, chuyển động cực kỳ đồng đều, đồng bộ tối ưu
- Thiết kế dạng phẳng hoặc đồng trục, dùng cho ứng dụng độ chính xác cao
Bộ truyền động hành trình ngắn trục ZZ-Axis Short Stroke Actuators
Module trục Z Schaeffler dùng cho kiểm tra quang học và máy kiểm tra. Trục Z cuộn dây âm thanh LDDS-078 gọn nhẹ, tích hợp đo lường, tin cậy một tỷ chu kỳ; trục Z khí nổi LRAM không ma sát, khối lượng di chuyển chỉ 10 g, phù hợp kiểm tra đầu dò và trục nâng hạ kiểm tra nhẹ.
- LDDS-078 hành trình 5 mm, hệ thống đo lường tích hợp
- LRAM ổ khí nổi không ma sát, gia tốc đạt 1.000 m/s²
- Ứng dụng: kiểm tra quang học, máy kiểm tra, kiểm tra đầu dò
Các kịch bản ứng dụng điển hình trong đo lường và kiểm traTypical applications in metrology & inspection
Kiểm tra AOI wafer, quét quang học và đo lường/khoan nhiều lớp đều đạt được bằng nền tảng đa trục truyền động trực tiếp; động cơ tuyến tính không lõi sắt cung cấp chuyển động êm ái không khe răng, tốc độ quét không đổi, trục quay truyền động trực tiếp cung cấp canh chỉnh độ chính xác cao, đảm bảo chất lượng hình ảnh đo lường và độ lặp lại.
Tìm hiểu sâu các ứng dụng liên quanExplore related applications
Cần giải pháp truyền động trực tiếp cho đo lường và kiểm tra?
Đội ngũ kỹ sư ứng dụng của chúng tôi luôn sẵn sàng tư vấn kỹ thuật và đề xuất lựa chọn sản phẩm cho bạn