광학 검사 및 계측
직접 구동 모터 응용
Optical Inspection & Metrology — Direct Drive Applications
AOI 광학 검사, 좌표 측정기 및 테스트기는 운동이 매우 평온하고 진동이 없으며 나노급의 안정성과 반복성을 갖추기를 요구합니다. 직접 구동 모터는 구동 체인의 백래시와 지연을 제거하며, 무철심 리니어 모터의 코깅 없는 운동, RMK/RMF 무슬롯 모터의 매우 균일한 운동, RDDS 회전 서브시스템의 즉시 사용형 테스트 테이블——모두 계측 결과가 구동 진동의 영향을 받지 않도록 보장합니다.
계측 및 검사의 구동 과제Drive challenges in metrology & inspection
계측 플랫폼과 검사축은 운동 평온도, 위치결정 안정성 및 통합도에 매우 높은 요구를 가집니다.
매우 평온한 무진동 운동Ultra-Smooth, Vibration-Free Motion
계측과 검사는 진동에 매우 민감합니다. UPLplus 무철심 리니어 모터는 코깅 힘과 리플 힘이 없고, RMK/RMF 무슬롯 철심 모터는 흡인력이 낮고 운동이 매우 균일하여 스캔과 계측 과정이 매끄럽도록 보장합니다.
고위치결정 정밀도 및 반복성Positioning Accuracy & Repeatability
직접 구동은 전동 백래시와 지연을 제거하여 위치결정 정밀도가 측정 시스템에 직접 좌우됩니다. 통합형 측정의 서브시스템이 폐루프 위치 피드백을 제공하여 높은 반복성의 계측 위치결정을 달성합니다.
즉시 사용형 회전 테스트 테이블Ready-to-Use Testing Tables
회전 계측과 테스트는 모터, 베어링, 측정 및 냉각을 통합한 즉시 사용형 모듈이 필요합니다. RDDS 회전 직접 구동 서브시스템의 공식 응용에는 테스트 테이블(testing tables)이 포함되어 계측(metrology) 산업에 서비스합니다.
컴팩트 통합 및 유지보수 불필요Compact Integration & Maintenance-Free
계측 기기는 공간이 제한되고 장기 안정성을 요구합니다. 직접 구동은 무접촉 마모, 유지보수 불필요이며, UPLplus는 컴팩트 경량, Z축 액추에이터는 측정 시스템을 통합하여 계측 기기의 소형화와 장기 일관성에 유리합니다.
계측 및 검사 직접 구동 솔루션Direct drive solutions for metrology & inspection
리니어 모터를 스캔축으로, RDDS 서브시스템을 회전 테스트 테이블로, RMK/RMF를 매우 균일한 회전으로, Z축을 검사 승강축으로 합니다.
무철심 리니어 모터Ironless Linear Motor
코깅 없음, 리플 힘 없는 무철심 리니어 모터로, 운동이 매우 평온하며 공식 사이트에서 계측 및 검사 기계에 적용된다고 명시됩니다. 힘 대 질량비 +42%, 이동 질량이 작아 AOI와 광학 계측 플랫폼의 고동특성 스캔축에 적합합니다.
- 최대 힘 100 – 1,300 N, 속도 30.4 m/s 도달
- 코깅 없음(무철심 설계), 운동 매우 평온
- 공식 사이트 응용: 계측 및 검사 기계, 에어 베어링
RDDS 회전 직접 구동 서브시스템Rotary Direct Drive Systems
토크 모터, 정밀 베어링, 측정 및 냉각을 통합한 즉시 사용형 회전 모듈로, 공식 응용에 테스트 테이블(testing tables)이 명시되어 계측(metrology) 산업에 서비스합니다. 백래시 없음, 고강성, 평온한 운전으로 회전 계측 테이블과 테스트 회전 테이블의 즉시 설치 사용 솔루션입니다.
- RDDS1 Ø130 – 230 mm, RDDS2 Ø240 – 565 mm
- 모터 + 베어링 + 측정 + 냉각 통합
- 백래시 없음, 고강성, 평온한 운전
- 공식 응용: 테스트 테이블, metrology 산업
무슬롯 철심 토크 모터Slotless Torque Motor
무슬롯 철심 영구자석 AC 동기 모터로, 흡인력이 낮고 운동이 매우 균일하며 최적 동기로, 운동 방향에 거의 외력이 없는 고정밀 회전 계측에 적합합니다. 설계와 직경 유연성이 높아 평면형 또는 동축형 구성으로 계측 기구에 통합할 수 있습니다.
- 직경 70 – 2,500 mm, 토크 2 – 15,000 Nm
- 코깅 없음, 운동 매우 균일, 최적 동기
- 평면형 또는 동축형 설계, 고정밀 응용에 사용
Z축 단행정 액추에이터Z-Axis Short Stroke Actuators
Schaeffler Z축 모듈은 광학 검사와 테스트기에 사용됩니다. LDDS-078 보이스 코일 Z축은 컴팩트, 측정 통합, 10억 회 사이클 신뢰성을 갖췄고, LRAM 에어 베어링 Z축은 무마찰, 이동 질량이 단 10 g으로 프로브 테스트와 경량 검사 승강축에 적합합니다.
- LDDS-078 행정 5 mm, 통합형 측정 시스템
- LRAM 무마찰 에어 베어링, 가속도 1,000 m/s² 도달
- 응용: 광학 검사, 테스트기, 프로브 테스트
계측 및 검사의 대표 응용 장면Typical applications in metrology & inspection
웨이퍼 AOI 검사, 광학 스캔 및 다층 계측/드릴링은 모두 직접 구동 다축 플랫폼으로 달성됩니다. 무철심 리니어 모터는 코깅 없음, 정속 스캔의 평온한 운동을 제공하고, 직접 구동 회전축은 고정밀 정렬을 제공하여 계측 이미지 품질과 반복성을 보장합니다.
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