应用指引 | Application Guide

精密线性导引
产业应用总览

Schneeberger Precision Linear Guidance — Industry Application Guide

Schneeberger 提供从微型循环式滚珠导轨(MINIRAIL)、交叉滚子导轨(Type R / RN / RNG)、滚针保持架导轨(Type N/O)到微型无摩擦平台(MINISLIDE MS / MSQ)的完整精密线性导引产品组合,搭配 MINISCALE PLUS 和 MSQscale 整合量测系統,服務半导体、医疗、光學、量测等高精度产业。

产业应用 | Industry Applications

依产业浏览应用案例Browse applications by industry

每个产业页面均以 Schneeberger 官方应用案例為主体,搭配业界同类产品的应用场景作為補充。

医疗技术应用
医疗技术

Medical Technology

手术机器人、診斷设备、牙科銑削/掃描、液体處理、切片机、显微鏡。Schneeberger 医疗技术事业部提供 10 个以上应用領域的完整方案。
MINIRAIL Type RNG MINISLIDE MS
半导体檢测应用
半导体檢测与量测

Semiconductor Inspection & Metrology

光罩檢测修復、晶圓 AOI、XYZT 全整合量测平台。約 40 年 SEMI 产业经验,奈米稳定性与 ms 定位時間。
客制定位系統 Type R / RN MINIRAIL
真空定位系統应用
真空定位系統

Vacuum Positioning Systems

10⁻⁹ mbar 分压下运作,E-beam 檢测、EUV 量测、SEM 定位。所有铝件內部加工控制逸氣,洁净室组装。
客制真空系統 MINISLIDE MS MINIRAIL PEEK
电子组装应用
後段组装与电子制造

Back-End Assembly & Electronics

Die bonding、wire bonding、SMT 貼片、PCB 檢测。MINIRAIL 一致預压降低组装工時,MINISLIDE MSQ 高剛性短行程定位。
MINIRAIL MINISLIDE MSQ Type RN
量测仪器应用
量测仪器

Metrology Instruments

CMM、雷射干涉仪、表面粗糙度仪、光學量测平台。官方案例:雷射干涉仪制造商选用 MINIRAIL。交叉滚子导轨极低波动特性。
Type R / RN MINIRAIL Type N/O
光學与光电应用
光學与光电

Optics & Photonics

光學掃描平台、雷射加工、光纖-PIC 对准、鏡片定位。交叉滚子导轨用于精密对准,MSQ 用于高速雷射偏轉。
Type R / RN MINISLIDE MSQ MINIRAIL
实验室自动化应用
实验室自动化与生命科學

Lab Automation & Life Sciences

液体處理、DNA 定序、生化分析仪、显微鏡。MSQscale 一体化导引量测系統適合空間受限的实验室仪器。
MSQscale MINIRAIL MINISLIDE MS
平面显示器应用
平面显示器

Flat Panel Display

800+ 系統全球装机实績。从 Gen 4 到 Gen 12,4 頭龍門 AOI、彩色濾光印刷、基板 AOI、光間隔干涉量测。
客制 FPD 系統 MONORAIL
先进封装应用
先进封装

Advanced Packaging

Zircon 系統用于 die-to-wafer 混合鍵合,服務 AI 加速器、HPC、5G chiplet。亞微米精度,全自动整合。
Zircon 客制系統 Type RN
增材制造应用
增材制造

Additive Manufacturing

官方案例:MINISLIDE MSQ 用于雷射偏轉装置,服務航太、汽車、医疗、工具制造。3D 列印设备线性轴。
MINISLIDE MSQ MINIRAIL
产品组合 | Product Portfolio

精密线性导引产品系列Precision Linear Guidance Product Families

MINIRAIL
MINIRAIL

微型循环式滚珠导轨

Miniature Profile Rail Guide
2 列循环式长行程设計。速度 ≤ 5 m/s,加速度 ≤ 300 m/s²。不锈钢版本,真空 10⁻⁷ mbar。选配 Cage Assist。
Type RN 交叉滚子导轨
Type R / RN / RNG

交叉滚子导轨

Cross-Roller Guideway
有限行程精密定位。Type R:全球第一款标准化无摩擦导轨。Type RN 承载 3 倍,可选配 FORMULA-S Cage Control。
Type N/O 滚针保持架导轨
Type N/O · M/V

滚针保持架导轨

Needle Cage Guideway
最大承载力、剛性与精度。钢塑复合保持架,位移阻力低于傳統滚针导轨。与 Type R/RN 相同安装程序。
MINISLIDE MS
MINISLIDE MS · MSQ

微型无摩擦平台

Micro Frictionless Table
MS:適用高温与超高真空。MSQ:硬化导轨整合 Cage Control,哥德式拱形 4 点接觸溝槽,速度 ≤ 3 m/s,-30°C 至 +120°C。
MINISCALE PLUS
MINISCALE PLUS · MSQscale

整合量测系統

Integrated Measuring System
导轨內建光學尺,量测解析度 0.1 µm。省去獨立編碼器安装空間,提供闭环位置回授讯号。操作温度 -40°C 至 +80°C。
精密定位系統
客制系統

精密定位系統

Custom Positioning Systems
从 XY 到 5 轴(含傾斜),真空 10⁻⁹ mbar,奈米稳定性,ms 定位時間。約 40 年半导体产业经验,800+ FPD 系統装机实績。

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