精密迷你轨道 / 滑台
Miniature Components — MINIRAIL · MINISLIDE MS · MINISLIDE MSQ
超小型导引系统，涵盖滚珠导轨与微型滑台
适用于医疗仪器、半导体制造、光学设备等高精度微型化应用
MINI-X 微型导轨/滑台家族
针对严苛应用的最新一代微型导轨——从滚珠导轨到微型滑台，涵盖所有精密微型导引需求
MINIRAIL
Miniature Ball Bearing Guideway
- 凭借卓越的设计实现工艺可信赖性
- 速度高达 5 m/s，加速度 300 m/s²
- 精密加工滑块可依需要互換
- 紧密间隙降低污染风險
- 优化滚珠循环，运行脈动低
- 真空相容至 10-7 mbar（可达 10-9）
- LUBE-S 长期润滑免维护
- 导轨长度无限
MINISLIDE MS
性能极大化，空间极小化
- 哥德式弧形轮廓，负载能力比 90° V 型高出 15 倍
- 最小重量实现紧凑坚固结构
- 材料与设计实现高水平刚度
- 真空相容至 10-7 mbar
- 保持架定心系统
MINISLIDE MSQ
生产力封装 — Productivity Package
- 集成保持架控制，最大工艺可信赖性
- 紧密双排轮廓，高负载能力
- 最小重量实现紧凑坚固结构
- 真空相容至 10-9 mbar
精密微型导引技术
源自 MINIRAIL、MINISLIDE MS、MINISLIDE MSQ 三大系列的核心技术优势
MINIRAIL 微型滚珠导轨
哥德式弧形轮廓
负载能力比 90° V 型轮廓高出 15 倍，紧凑结构，重量最低。
高速高加速
创新滚珠循环嵌入设计，速度达 5 m/s、加速度 300 m/s²。
LUBE-S 长期润滑
专利润滑方案，20,000 km 免维护，不占额外空间。
全硬化不锈钢
导轨与滑块均由全硬化不锈钢制成，耐腐蚀、高硬度。
滑块互換性
尺寸精确一致（< 1 µm），可任意互換，简化库存维护。
四种滑块长度
MNNS / MNN / MNNL / MNNXL，灵活设计运动轴。
最大污染防护
超精密间隙防污，型材刮片器可卡入拆卸，安装孔可密封。
简单安装维护
滚珠由保持线固定，滑块可沿导轨自由移动，更換便利。
MINISLIDE MS 微型滚珠滑台
极致微小化
MS 4 与一枚 10 美分硬币相比，展现极限空间下的精密导引。
哥德式弧形轮廓
负载能力比 90° V 型轮廓高出 15 倍，同级最高刚度。
保持架居中系统
一体式塑料保持架，集成定心特征精确定位，抵消蠕变。
全硬化不锈钢
全硬化不锈钢制成，真空相容至 10-7 mbar。
MINISLIDE MSQ 高性能滚珠滑台
机械保持架居中
齿条小齿轮直接集成，彻底消除蠕变，机械限位保护。
高速高加速
速度达 3 m/s、加速度 300 m/s²，满足最先进推进需求。
O 形排列最大刚度
四轨道 O 形排列，偏移 90° 零背隙预紧，最高扭矩刚度。
全硬化不锈钢
全硬化不锈钢制成，真空相容至 10-9 mbar。
精密微型应用的核心
从医疗诊断到半导体制造，微型导引系统的精密解决方案
医疗技术
- 显微手术精密定位
- 液体处理仪（Liquid Handler）
- 组織切片机（Microtome）
- 显微镜聚焦与扫描台
- 诊断设备精密定位
牙科医学
- 牙科铣削机（CAD/CAM）
- 牙科 3D 打印设备
- 口腔扫描仪定位系统
- 高速高加速动态加工
生物技术
- 自动化移液工作站
- 实验室自动化设备
- 高通量筛选系统
- 精密定位与运动系统
半导体与电子检测
- Wire Bonder 金线焊接机
- 晶片取放（Die Bonder）
- 飞针测试仪（Flying Probe）
- 洁净室内微型定位
- 晶圆检测平台
精密计量
- 激光干涉仪定位系统
- 座标测量机（CMM）探针
- 表面形貌测量设备
- 轮廓仪与粗度计
光学工业
- 高速扫描与定位系统
- 激光光学精密校准
- 光纤对准设备
- 干涉仪光学平台
微型自动化
- 微精密组装设备
- 机器人末端执行器
- 微组装定位平台
- 纳米技术定位系统
微型自动化 — 精密组装
- 微零件自动组装
- 视觉导引定位系统
- 小型零件焊接与接合
- 微流体分注设备
纳米科技
- 分子束磊晶（MBE）系统
- 纳米压印设备定位
- 原子力显微镜（AFM）平台
- 薄膜沉积设备
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