真空定位系統的精密导引挑戰Linear guidance challenges in vacuum positioning systems
真空腔体內的定位系統需克服极低分压、逸氣控制、磁干擾及洁净组装等嚴格要求，遠超一般大氣环境定位设备的规格。
极低分压Ultra-Low Partial Pressure
e-beam 檢测与 EUV 量测设备要求系統在 10⁻⁹ mbar 分压下稳定运作。所有材料、潤滑劑与纜线必須通過嚴格的真空相容性验證，確保不會汙染光學元件或偵测器。
低逸氣控制Outgassing Control
Schneeberger 將所有铝制结构件在內部加工，嚴格管控材料來源与制程，確保逸氣率符合真空腔体要求。抽真空時間最佳化也是系統设計的关鍵考量之一。
磁干擾抑制Magnetic Disturbance Mitigation
e-beam 与 SEM 等设备对磁场变化极為敏感。真空定位系統採用的线性馬达需要特殊屏蔽设計，避免磁场干擾电子束偏轉或影响影像品质。
洁净室组装Cleanroom Assembly
真空定位系統在洁净室环境下完成组装、测試与包装，確保系統交付時不含微粒汙染物。專用真空纜线与接頭亦在受控环境中整合。
真空定位系統产品方案Vacuum positioning system solutions
Schneeberger 提供从多轴客制真空定位系統到标准元件真空改装版的完整方案，涵蓋 10⁻⁷ 至 10⁻⁹ mbar 真空等級。
客制真空定位系統Custom Vacuum Positioning Systems
从 XY 雙轴到 5 轴（含傾斜）的完整客制方案，可在 10⁻⁹ mbar 分压下运作。採用线性馬达（含專用磁屏蔽）与压电驅动单元，搭配專用真空纜线。所有铝制结构件在 Schneeberger 內部加工，嚴格控制逸氣。系統在洁净室环境下组装、测試与包装。
- 分压可达 10⁻⁹ mbar，EUV 相容
- 配置：XY / XYT / 5 轴（含傾斜）/ 龍門架构
- 驅动：线性馬达（含磁屏蔽）+ 压电驅动单元
- 所有铝件內部加工，控制逸氣
- 專用真空纜线与接頭
- 洁净室组装、测試、包装
MINISLIDE MS 微型无摩擦平台MINISLIDE MS Micro Frictionless Table
有限行程微型无摩擦平台，官方聲明適用「超高真空」环境。一体式塑膠保持架整合定心功能，哥德式拱形溝槽承载力為 90° V 溝的 15 倍，零背隙设計。非循环式结构理論上顆粒生成低于循环式导轨。
- 適用 超高真空（官方聲明）
- 轨宽 4 mm / 5 mm，系統长度 10–40 mm
- 速度 ≤ 1 m/s，加速度 ≤ 50 m/s²
- 哥德式拱形溝槽，承载力 15 倍
- 零背隙，耐腐蚀硬化钢
- 操作温度 -40°C 至 +80°C
MINIRAIL 真空改装版MINIRAIL Vacuum-Modified Version
MINIRAIL 标准版真空相容性达 10⁻⁷ mbar。PEEK 改装版可进一步达到 10⁻⁹ mbar，需移除擦片、更换通氣螺絲，並採用洁净室包装。適用于真空腔体外部或周邊设备的长行程定位需求。
- 标准版：10⁻⁷ mbar
- PEEK 改装版：10⁻⁹ mbar（需移除擦片、通氣螺絲、洁净室包装）
- 速度 ≤ 5 m/s，加速度 ≤ 300 m/s²
- 选配 Cage Assist 輔助滚珠运行稳定性
- 滑車完全互换
- LUBE-S 版本不適用真空与洁净室
注意：MINIRAIL 為循环式线性导轨元件，適用于真空系統的周邊长行程定位需求。EUV/e-beam 腔体內的多轴定位需使用上方的客制真空定位系統。
真空定位系統的实际应用场景Real-world vacuum positioning system applications
Schneeberger 官方記錄了 7 套真空定位系統，涵蓋 e-beam 檢测、EUV 量测、SEM 等应用。以下為代表性案例与完整系統清单。
