光學系統对运动平台的精度、振动特性、速度均勻性与空間整合度有嚴格要求。
光纖耦合、鏡片定位、矽光子 fiber-to-PIC 对准需要亞微米級重复定位。交叉滚子导轨同時承受轴向与徑向力,提供极高的运动直线度与定位稳定性,適合多轴精密光學对准平台。
掃描式光學量测与雷射加工设备需要平滑勻速运动。MINIRAIL 速度可达 5 m/s、加速度 300 m/s²,循环式设計確保长行程高速掃描的稳定性。MINISLIDE MSQ 速度达 3 m/s、加速度 300 m/s²,適用短行程高动態光學偏轉。
光學平台对振动极度敏感,导引系統的运动波动直接影响量测与成像品质。交叉滚子导轨的有限行程设計具有极低的运动阻力波动,MINISLIDE MSQ 的哥德式拱形 4 点接觸溝槽提供高剛性,減少共振傳遞。
光學系統空間受限,多轴定位模组需在最小体积內整合导引与量测功能。MSQscale 一体化导引+量测系統(解析度 0.1 µm)將导轨与光學尺整合為单一模组,降低设計复杂度与安装空間需求。
Schneeberger 提供从精密交叉滚子导轨到高速循环式微型导轨与一体化量测系統的完整产品组合,滿足光學产业从精密对准到高速掃描的多元需求。
交叉滚子导轨用于光學精密对准平台,极低运动波动,適合光纖-PIC 对准、鏡片定位等亞微米級应用。Type RN 承载力為 Type R 的 3 倍,可选配 FORMULA-S Cage Control 防止保持架漂移。
Schneeberger 官方光學产业页案例:雷射干涉仪制造商选用 MINIRAIL,看中其剛性与运动平滑度。搭配 MINISCALE PLUS 整合量测系統(量测解析度 0.1 µm),提供闭环回授控制,省去獨立安装外部线性編碼器的空間与程序。
Schneeberger 官方案例:雷射偏轉装置(增材制造),速度达 5 m/s、加速度 300 m/s²。硬化导轨整合 Cage Control,哥德式拱形 4 点接觸溝槽提供优異剛性(承载力為 90° V 型溝的 15 倍),適用高动態光學偏轉与定位。
以下展示精密线性导引系統在光學量测、雷射加工、光學掃描及矽光子对准中的典型应用场景与技术要点。
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