产业应用 | Industry Application

光學与光电
精密线性导引应用

Optics & Photonics — Precision Linear Guidance Applications

光學量测、光學掃描、雷射加工及矽光子封装对线性导引系統的精度与运动品质要求极為嚴苛。Schneeberger 官方光學产业页列出 MINIRAIL 与 MINISCALE PLUS 用于光學掃描与量测平台,交叉滚子导轨則用于精密光學对准。新興矽光子市场中的光纖-PIC 对准需求,正成為交叉滚子导轨的高成长应用。

产业需求 | Requirements

光學与光电产业的线性导引挑戰Linear guidance challenges in optics & photonics

光學系統对运动平台的精度、振动特性、速度均勻性与空間整合度有嚴格要求。

光學对准精度Optical Alignment Precision

亞微米級重复性

光纖耦合、鏡片定位、矽光子 fiber-to-PIC 对准需要亞微米級重复定位。交叉滚子导轨同時承受轴向与徑向力,提供极高的运动直线度与定位稳定性,適合多轴精密光學对准平台。

高速光學掃描High-Speed Optical Scanning

5 m/s / 300 m/s²

掃描式光學量测与雷射加工设备需要平滑勻速运动。MINIRAIL 速度可达 5 m/s、加速度 300 m/s²,循环式设計確保长行程高速掃描的稳定性。MINISLIDE MSQ 速度达 3 m/s、加速度 300 m/s²,適用短行程高动態光學偏轉。

振动隔离Vibration Isolation

极低运动波动

光學平台对振动极度敏感,导引系統的运动波动直接影响量测与成像品质。交叉滚子导轨的有限行程设計具有极低的运动阻力波动,MINISLIDE MSQ 的哥德式拱形 4 点接觸溝槽提供高剛性,減少共振傳遞。

緊湊整合Compact Integration

空間受限光學模组

光學系統空間受限,多轴定位模组需在最小体积內整合导引与量测功能。MSQscale 一体化导引+量测系統(解析度 0.1 µm)將导轨与光學尺整合為单一模组,降低设計复杂度与安装空間需求。

Schneeberger 解決方案 | Solutions

光學与光电产业线性导引产品方案Linear guidance solutions for optics & photonics

Schneeberger 提供从精密交叉滚子导轨到高速循环式微型导轨与一体化量测系統的完整产品组合,滿足光學产业从精密对准到高速掃描的多元需求。

Type R / RN (FORMULA-S)

交叉滚子导轨Cross-Roller Guideways for Optical Alignment

交叉滚子导轨用于光學精密对准平台,极低运动波动,適合光纖-PIC 对准、鏡片定位等亞微米級应用。Type RN 承载力為 Type R 的 3 倍,可选配 FORMULA-S Cage Control 防止保持架漂移。

  • Type R:全球首款标准化无摩擦导轨,尺寸 1–12
  • Type RN:承载力為 Type R 的 3 倍,尺寸 3, 4, 6
  • 可选配 FORMULA-S Cage Control(齿條+小齿轮防漂移)
  • FORMULA-S 规格:加速度 ≤ 300 m/s²、速度 ≤ 1 m/s
  • 真空相容性达 10⁻⁷ mbar
  • 同時承受轴向与徑向力,適用多轴精密定位
  • 操作温度 -40°C 至 +80°C
MINIRAIL + MINISCALE PLUS

微型循环式导轨与整合量测系統MINIRAIL with Integrated Measuring System

Schneeberger 官方光學产业页案例:雷射干涉仪制造商选用 MINIRAIL,看中其剛性与运动平滑度。搭配 MINISCALE PLUS 整合量测系統(量测解析度 0.1 µm),提供闭环回授控制,省去獨立安装外部线性編碼器的空間与程序。

  • 速度 ≤ 5 m/s,加速度 ≤ 300 m/s²
  • MINISCALE PLUS 量测解析度 0.1 µm
  • MINISCALE PLUS 操作温度上限 +80°C
  • 洁净室相容 ISO 6–7(ISO 14644-1)
  • 选配 Cage Assist 輔助滚珠运行稳定性
  • 低間隙设計防止外部汙染物侵入导轨內部
MINISLIDE MSQ

MINISLIDE MSQ 进階微型导轨平台MINISLIDE MSQ Advanced Miniature Guideway

Schneeberger 官方案例:雷射偏轉装置(增材制造),速度达 5 m/s、加速度 300 m/s²。硬化导轨整合 Cage Control,哥德式拱形 4 点接觸溝槽提供优異剛性(承载力為 90° V 型溝的 15 倍),適用高动態光學偏轉与定位。

  • 速度 ≤ 3 m/s,加速度 ≤ 300 m/s²
  • 硬化导轨整合 Cage Control
  • 哥德式拱形 4 点接觸溝槽,承载力提升 15 倍
  • 操作温度 -30°C 至 +120°C
  • 有限行程设計,零背隙
  • 可搭配 MSQscale 整合量测系統(解析度 0.1 µm)
应用案例 | Application Cases

光學与光电产业的实际应用场景Real-world linear guidance applications in optics & photonics

以下展示精密线性导引系統在光學量测、雷射加工、光學掃描及矽光子对准中的典型应用场景与技术要点。

Optical metrology and inspection platform
Schneeberger 官方案例 | Official Case
光學量测与檢测平台Optical Metrology & Inspection
Schneeberger 官方光學产业页案例:雷射干涉仪制造商选用 MINIRAIL 微型导轨,看中其剛性与运动平滑度,搭配 MINISCALE PLUS 整合量测系統(量测解析度 0.1 µm)提供闭环回授。光學量测平台需要极低运动波动以確保量测精度。
MINIRAIL MINISCALE PLUS 光學量测
Laser processing and positioning
Schneeberger 官方案例 | Official Case
雷射加工定位Laser Processing & Positioning
Schneeberger 官方案例:MINISLIDE MSQ 用于雷射偏轉装置(增材制造),速度达 5 m/s、加速度 300 m/s²。哥德式拱形 4 点接觸溝槽提供高剛性,硬化导轨整合 Cage Control,確保高速往復运动中的定位稳定性。雷射加工对导引系統的动態回应与重复精度要求极高。
MINISLIDE MSQ 雷射加工 高速定位
Optical scanning equipment
Schneeberger 官方案例 + 业界应用 | Official + Industry
光學掃描与矽光子对准Optical Scanning & Silicon Photonics Alignment
Schneeberger 官方医疗页列出牙科掃描设备為高精度光學掃描应用。在新興矽光子市场中,光纖-PIC 对准(fiber-to-PIC alignment)需要亞微米級重复定位与极高运动直线度——业界已验證交叉滚子导轨平台可滿足此需求,適用于資料中心互連、5G 通讯、LiDAR 及量子計算光學介面。
Type R / RN 光學掃描 矽光子 fiber-to-PIC
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