半導體檢測與量測設備的定位挑戰Positioning challenges in semiconductor inspection & metrology equipment
光罩檢測、晶圓 AOI 與量測設備對定位系統的穩定性、速度與整合度要求極為嚴苛，需要專業的客製定位方案。
奈米穩定性Nanometre Stability
光罩檢測與晶圓量測需要亞奈米級的位置穩定性。Schneeberger 官方聲明：「The world of nanometres stability ... is our world.」這是客製定位系統的核心能力，非標準線性導軌元件可達成。
毫秒級移動定位Millisecond Move & Settle
高產出半導體設備要求快速移動和定位（ms move-and-settle），以維持每小時晶圓處理量。Schneeberger 客製系統針對此需求最佳化移動路徑與控制參數，實現高速與高穩定性的平衡。
多軸整合Multi-Axis Integration
檢測與量測設備通常需要 XY、XYT 甚至 XYZT 多軸聯動。Schneeberger 提供從平台機構到控制器與主動隔振的整合式系統方案，減少客戶端的系統整合工作。
潔淨室組裝Cleanroom Assembly
半導體級定位系統需在潔淨室環境下組裝、測試與包裝，確保交付至客戶端時符合潔淨度要求。Schneeberger 具備完整的潔淨室製造與品管流程。
檢測與量測定位系統產品方案Positioning solutions for semiconductor inspection & metrology
從完整客製定位系統到標準精密導軌元件，Schneeberger 提供多層次的產品方案滿足不同整合需求。
Precision Positioning SystemsCustom Semiconductor Positioning Systems
Schneeberger Precision Positioning Systems 部門提供從 XY 到 XYZT 的完整客製方案，約 40 年 SEMI 產業經驗，奈米穩定性與毫秒級定位時間，支援 450mm 晶圓。系統涵蓋平台機構、控制器與主動隔振整合，在潔淨室環境完成組裝與測試。
- 奈米穩定性，毫秒級移動定位（ms move-and-settle）
- XY / XYT / XYZT 多軸客製配置
- 支援 450mm 晶圓處理
- 控制器與主動隔振可整合於系統
- 潔淨室組裝、測試與包裝
- 快速開發週期，迅速量產爬坡
交叉滾子導軌Cross-Roller Guideway Type R / RN
交叉滾子導軌用於有限行程精密 stage 設計。Type R 為全球第一款標準化無摩擦導軌，標準尺寸 1-12，長度 20-1500mm。Type RN 與 Type R 尺寸互換，承載力提升 3 倍，可選配 FORMULA-S Cage Control 防止保持架漂移。
- Type R：標準尺寸 1-12，長度 20-1500 mm
- Type RN：承載力 3 倍，可直接替換 Type R
- RN 可選配 Cage Control (FORMULA-S)
- FORMULA-S 規格：300 m/s², 1 m/s, 真空 10⁻⁷ mbar
- 操作溫度 -40°C 至 +80°C
- 可同時承受軸向與徑向力
循環式微型導軌 + 整合量測MINIRAIL with Integrated Measuring System
循環式微型導軌用於設備框架與搬送軸等長行程應用。MINISCALE PLUS 將量測光學尺整合於 MINIRAIL 導軌內（解析度 0.1 um），提供閉環控制所需位置回授訊號，簡化系統設計並縮短安裝空間。
- MINIRAIL：速度 ≤ 5 m/s，加速度 ≤ 300 m/s²
- MINISCALE PLUS 量測解析度 0.1 um
- 真空相容 10⁻⁷ mbar（PEEK 改裝可達 10⁻⁹ mbar）
- MINISCALE PLUS 潔淨室 ISO 6-7 (ISO 14644-1)
- 消除各軸獨立預壓調整，一致預壓值
- 滑車完全互換，方便現場維護
Schneeberger 半導體檢測與量測客製系統Real Schneeberger custom positioning systems for semiconductor inspection
以下為 Schneeberger 官方公開的半導體檢測與量測客製定位系統，均為實際交付的產品系統照片。
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