應用指引 | Application Guide
精密線性導引
產業應用總覽
Schneeberger Precision Linear Guidance — Industry Application Guide
Schneeberger 提供從微型循環式滾珠導軌（MINIRAIL）、交叉滾子導軌（Type R / RN / RNG）、滾針保持架導軌（Type N/O）到微型無摩擦平台（MINISLIDE MS / MSQ）的完整精密線性導引產品組合，搭配 MINISCALE PLUS 和 MSQscale 整合量測系統，服務半導體、醫療、光學、量測等高精度產業。
產業應用 | Industry Applications
依產業瀏覽應用案例Browse applications by industry
每個產業頁面均以 Schneeberger 官方應用案例為主體，搭配業界同類產品的應用場景作為補充。
醫療技術
Medical Technology
手術機器人、診斷設備、牙科銑削/掃描、液體處理、切片機、顯微鏡。Schneeberger 醫療技術事業部提供 10 個以上應用領域的完整方案。
MINIRAIL Type RNG MINISLIDE MS
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半導體檢測與量測
Semiconductor Inspection & Metrology
光罩檢測修復、晶圓 AOI、XYZT 全整合量測平台。約 40 年 SEMI 產業經驗，奈米穩定性與 ms 定位時間。
客製定位系統 Type R / RN MINIRAIL
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真空定位系統
Vacuum Positioning Systems
10⁻⁹ mbar 分壓下運作，E-beam 檢測、EUV 量測、SEM 定位。所有鋁件內部加工控制逸氣，潔淨室組裝。
客製真空系統 MINISLIDE MS MINIRAIL PEEK
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後段組裝與電子製造
Back-End Assembly & Electronics
Die bonding、wire bonding、SMT 貼片、PCB 檢測。MINIRAIL 一致預壓降低組裝工時，MINISLIDE MSQ 高剛性短行程定位。
MINIRAIL MINISLIDE MSQ Type RN
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量測儀器
Metrology Instruments
CMM、雷射干涉儀、表面粗糙度儀、光學量測平台。官方案例：雷射干涉儀製造商選用 MINIRAIL。交叉滾子導軌極低波動特性。
Type R / RN MINIRAIL Type N/O
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光學與光電
Optics & Photonics
光學掃描平台、雷射加工、光纖-PIC 對準、鏡片定位。交叉滾子導軌用於精密對準，MSQ 用於高速雷射偏轉。
Type R / RN MINISLIDE MSQ MINIRAIL
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實驗室自動化與生命科學
Lab Automation & Life Sciences
液體處理、DNA 定序、生化分析儀、顯微鏡。MSQscale 一體化導引量測系統適合空間受限的實驗室儀器。
MSQscale MINIRAIL MINISLIDE MS
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平面顯示器
Flat Panel Display
800+ 系統全球裝機實績。從 Gen 4 到 Gen 12，4 頭龍門 AOI、彩色濾光印刷、基板 AOI、光間隔干涉量測。
客製 FPD 系統 MONORAIL
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先進封裝
Advanced Packaging
Zircon 系統用於 die-to-wafer 混合鍵合，服務 AI 加速器、HPC、5G chiplet。亞微米精度，全自動整合。
Zircon 客製系統 Type RN
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增材製造
Additive Manufacturing
官方案例：MINISLIDE MSQ 用於雷射偏轉裝置，服務航太、汽車、醫療、工具製造。3D 列印設備線性軸。
MINISLIDE MSQ MINIRAIL
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產品組合 | Product Portfolio
精密線性導引產品系列Precision Linear Guidance Product Families
客製系統
精密定位系統
Custom Positioning Systems
從 XY 到 5 軸（含傾斜），真空 10⁻⁹ mbar，奈米穩定性，ms 定位時間。約 40 年半導體產業經驗，800+ FPD 系統裝機實績。
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