真空定位系統的精密導引挑戰Linear guidance challenges in vacuum positioning systems
真空腔體內的定位系統需克服極低分壓、逸氣控制、磁干擾及潔淨組裝等嚴格要求，遠超一般大氣環境定位設備的規格。
極低分壓Ultra-Low Partial Pressure
e-beam 檢測與 EUV 量測設備要求系統在 10⁻⁹ mbar 分壓下穩定運作。所有材料、潤滑劑與纜線必須通過嚴格的真空相容性驗證，確保不會汙染光學元件或偵測器。
低逸氣控制Outgassing Control
Schneeberger 將所有鋁製結構件在內部加工，嚴格管控材料來源與製程，確保逸氣率符合真空腔體要求。抽真空時間最佳化也是系統設計的關鍵考量之一。
磁干擾抑制Magnetic Disturbance Mitigation
e-beam 與 SEM 等設備對磁場變化極為敏感。真空定位系統採用的線性馬達需要特殊屏蔽設計，避免磁場干擾電子束偏轉或影響影像品質。
潔淨室組裝Cleanroom Assembly
真空定位系統在潔淨室環境下完成組裝、測試與包裝，確保系統交付時不含微粒汙染物。專用真空纜線與接頭亦在受控環境中整合。
真空定位系統產品方案Vacuum positioning system solutions
Schneeberger 提供從多軸客製真空定位系統到標準元件真空改裝版的完整方案，涵蓋 10⁻⁷ 至 10⁻⁹ mbar 真空等級。
客製真空定位系統Custom Vacuum Positioning Systems
從 XY 雙軸到 5 軸（含傾斜）的完整客製方案，可在 10⁻⁹ mbar 分壓下運作。採用線性馬達（含專用磁屏蔽）與壓電驅動單元，搭配專用真空纜線。所有鋁製結構件在 Schneeberger 內部加工，嚴格控制逸氣。系統在潔淨室環境下組裝、測試與包裝。
- 分壓可達 10⁻⁹ mbar，EUV 相容
- 配置：XY / XYT / 5 軸（含傾斜）/ 龍門架構
- 驅動：線性馬達（含磁屏蔽）+ 壓電驅動單元
- 所有鋁件內部加工，控制逸氣
- 專用真空纜線與接頭
- 潔淨室組裝、測試、包裝
MINISLIDE MS 微型無摩擦平台MINISLIDE MS Micro Frictionless Table
有限行程微型無摩擦平台，官方聲明適用「超高真空」環境。一體式塑膠保持架整合定心功能，哥德式拱形溝槽承載力為 90° V 溝的 15 倍，零背隙設計。非循環式結構理論上顆粒生成低於循環式導軌。
- 適用 超高真空（官方聲明）
- 軌寬 4 mm / 5 mm，系統長度 10–40 mm
- 速度 ≤ 1 m/s，加速度 ≤ 50 m/s²
- 哥德式拱形溝槽，承載力 15 倍
- 零背隙，耐腐蝕硬化鋼
- 操作溫度 -40°C 至 +80°C
MINIRAIL 真空改裝版MINIRAIL Vacuum-Modified Version
MINIRAIL 標準版真空相容性達 10⁻⁷ mbar。PEEK 改裝版可進一步達到 10⁻⁹ mbar，需移除擦片、更換通氣螺絲，並採用潔淨室包裝。適用於真空腔體外部或周邊設備的長行程定位需求。
- 標準版：10⁻⁷ mbar
- PEEK 改裝版：10⁻⁹ mbar（需移除擦片、通氣螺絲、潔淨室包裝）
- 速度 ≤ 5 m/s，加速度 ≤ 300 m/s²
- 選配 Cage Assist 輔助滾珠運行穩定性
- 滑車完全互換
- LUBE-S 版本不適用真空與潔淨室
注意：MINIRAIL 為循環式線性導軌元件，適用於真空系統的周邊長行程定位需求。EUV/e-beam 腔體內的多軸定位需使用上方的客製真空定位系統。
真空定位系統的實際應用場景Real-world vacuum positioning system applications
Schneeberger 官方記錄了 7 套真空定位系統，涵蓋 e-beam 檢測、EUV 量測、SEM 等應用。以下為代表性案例與完整系統清單。
