精密迷你軌道 / 滑台
Miniature Components — MINIRAIL · MINISLIDE MS · MINISLIDE MSQ
超小型導引系統，涵蓋滾珠導軌與微型滑台
適用於醫療儀器、半導體製造、光學設備等高精度微型化應用
MINI-X 微型導軌/滑台家族
針對嚴苛應用的最新一代微型導軌——從滾珠導軌到微型滑台，涵蓋所有精密微型導引需求
MINIRAIL
Miniature Ball Bearing Guideway
- 憑藉卓越的設計實現製程可信賴性
- 速度高達 5 m/s，加速度 300 m/s²
- 精密加工滑塊可依需要互換
- 緊密間隙降低污染風險
- 優化滾珠循環，運行脈動低
- 真空相容至 10-7 mbar（可達 10-9）
- LUBE-S 長期潤滑免維護
- 導軌長度無限
MINISLIDE MS
性能極大化，空間極小化
- 哥德式弧形輪廓，負載能力比 90° V 型高出 15 倍
- 最小重量實現緊湊堅固結構
- 材料與設計實現高水平剛性
- 真空相容至 10-7 mbar
- 保持架定心系統
MINISLIDE MSQ
生產力封裝 — Productivity Package
- 整合保持架控制，最大製程可信賴性
- 緊密雙排輪廓，高負載能力
- 最小重量實現緊湊堅固結構
- 真空相容至 10-9 mbar
精密微型導引技術
源自 MINIRAIL、MINISLIDE MS、MINISLIDE MSQ 三大系列的核心技術優勢
MINIRAIL 微型滾珠導軌
哥德式弧形輪廓
負載能力比 90° V 型輪廓高出 15 倍，緊湊結構，重量最低。
高速高加速
創新滾珠循環嵌入設計，速度達 5 m/s、加速度 300 m/s²。
LUBE-S 長期潤滑
專利潤滑方案，20,000 km 免維護，不佔額外空間。
全硬化不鏽鋼
導軌與滑塊均由全硬化不鏽鋼製成，耐腐蝕、高硬度。
滑塊互換性
尺寸精確一致（< 1 µm），可任意互換，簡化庫存維護。
四種滑塊長度
MNNS / MNN / MNNL / MNNXL，靈活設計運動軸。
最大污染防護
超精密間隙防污，型材刮片器可卡入拆卸，安裝孔可密封。
簡單安裝維護
滾珠由保持線固定，滑塊可沿導軌自由移動，更換便利。
MINISLIDE MS 微型滾珠滑台
極致微小化
MS 4 與一枚 10 美分硬幣相比，展現極限空間下的精密導引。
哥德式弧形輪廓
負載能力比 90° V 型輪廓高出 15 倍，同級最高剛性。
保持架置中系統
一體式塑料保持架，集成定心特徵精確定位，抵消蠕變。
全硬化不鏽鋼
全硬化不鏽鋼製成，真空相容至 10-7 mbar。
MINISLIDE MSQ 高性能滾珠滑台
機械保持架置中
齒條小齒輪直接集成，徹底消除蠕變，機械限位保護。
高速高加速
速度達 3 m/s、加速度 300 m/s²，滿足最先進推進需求。
O 形排列最大剛性
四軌道 O 形排列，偏移 90° 零背隙預壓，最高扭矩剛性。
全硬化不鏽鋼
全硬化不鏽鋼製成，真空相容至 10-9 mbar。
精密微型應用的核心
從醫療診斷到半導體製造，微型導引系統的精密解決方案
醫療技術
- 顯微手術精密定位
- 液體處理儀（Liquid Handler）
- 組織切片機（Microtome）
- 顯微鏡聚焦與掃描台
- 診斷設備精密定位
牙科醫學
- 牙科銑削機（CAD/CAM）
- 牙科 3D 列印設備
- 口腔掃描儀定位系統
- 高速高加速動態加工
生物技術
- 自動化移液工作站
- 實驗室自動化設備
- 高通量篩選系統
- 精密定位與運動系統
半導體與電子檢測
- Wire Bonder 金線焊接機
- 晶片取放（Die Bonder）
- 飛針測試儀（Flying Probe）
- 潔淨室內微型定位
- 晶圓檢測平台
精密計量
- 雷射干涉儀定位系統
- 座標量測機（CMM）探針
- 表面形貌量測設備
- 輪廓儀與粗度計
光學工業
- 高速掃描與定位系統
- 雷射光學精密調校
- 光纖對準設備
- 干涉儀光學平台
微型自動化
- 微精密組裝設備
- 機器人末端執行器
- 微組裝定位平台
- 奈米技術定位系統
微型自動化 — 精密組裝
- 微零件自動組裝
- 視覺導引定位系統
- 小型零件焊接與接合
- 微流體分注設備
奈米科技
- 分子束磊晶（MBE）系統
- 奈米壓印設備定位
- 原子力顯微鏡（AFM）平台
- 薄膜沉積設備
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