半導體製程的驅動挑戰Drive challenges in semiconductor processing
晶圓定位、檢測與貼放對精度、動態、潔淨度與運動平穩度有極高要求。
高動態與短週期High Dynamics & Short Cycle Time
晶圓搬運與貼放追求最高產能。UPLplus 無鐵芯線性馬達力質比提升達 42%，使移動質量更小、週期時間更短，達成高動態定位操作。
精確定位無超調Precise Positioning, No Overshoot
無鐵芯馬達無齒槽力與漣波力，運動極平穩；有鐵芯 L1 系列精確定位且無超調。直驅消除傳動鏈間隙，定位精度取決於量測系統而非機械傳動。
潔淨與無微粒Clean & Particle-Free
半導體潔淨室要求無微粒污染。直驅馬達無接觸傳動、無磨耗，可搭配氣浮軸；LRAM Z 軸採無摩擦氣浮軸承，適合對微粒敏感的製程環境。
緊湊與低移動質量Compact & Low Moving Mass
多軸晶圓平台空間受限。UPLplus 初級部件質量僅 64 – 552 g，L1A 安裝高度僅 31 mm，Z 軸致動器移動質量最低僅 10 g（LRAM），利於小型化與高動態。
半導體製程直驅方案Direct drive solutions for semiconductor
線性馬達驅動水平定位軸，Z 軸子系統作垂直取放軸，無槽鐵芯扭矩馬達用於旋轉定位。
無鐵芯線性馬達Ironless Linear Motor
以印刷電路技術製成的無鐵芯線性馬達，力質比提升達 42%。無齒槽力、移動質量小、週期時間短，適用半導體貼放、Pick & Place、Z 軸驅動與量測檢測機械。
- 峰值力 100 – 1,300 N，額定力 30 – 300 N
- 尺寸 30 / 60 / 80 mm，最高速度達 30.4 m/s
- 無齒槽（無鐵芯設計），運動極平穩
- 初級部件質量 64 – 552 g
有鐵芯線性馬達Iron-Core Linear Motor
三相槽式永磁激勵 AC 同步線性馬達，針對極致效率優化，於有限空間內提供最大力。官網明列應用於半導體處理（PCB、晶圓定位、AOI）、生產線貼放系統。
- 峰值力 169 – 5,171 N
- L1A 安裝高度僅 31 mm，力質比優異
- 精確定位無超調，優異恆速特性
- 免維護、零齒隙，可選主動冷卻（L1C）
Z 軸短行程致動器Z-Axis Short Stroke Actuators
LDDS-032 槽式線性馬達 Z 軸用於 Pick & Place 與快速循環；LRAM 氣浮混合步進 Z 軸加速度達 1,000 m/s²、移動質量僅 10 g，適合探針測試與輕量零件搬運。
- LDDS-032 峰值力 640 N，行程 ±5.5 mm
- LRAM 加速度達 1,000 m/s²，無摩擦氣浮軸承
- LRAM 移動質量僅 10 g，磁阻式量測系統
- 應用：Pick & Place、探針測試
無槽鐵芯扭矩馬達Slotless Torque Motor
無槽鐵芯永磁 AC 同步馬達，吸引力低、運動極為均勻，適合運動方向幾乎無外力的中等扭矩旋轉定位（如晶圓旋轉與對位）。設計與直徑彈性高，可採扁平或同軸配置。
- 直徑 70 – 2,500 mm，扭矩 2 – 15,000 Nm
- 無齒槽，運動極為均勻、最佳同步
- 扁平式或同軸式設計，用於高精度應用
半導體製程的典型應用場景Typical applications in semiconductor processing
晶圓定位、AOI 與貼放對應 Schaeffler 線性馬達官網所列之半導體應用；晶圓檢測、直寫微影、晶圓切割/劃片、探針測試、雷射退火與晶粒鍵合為業界同類製程的直驅運動需求。半導體製程的共通點是「奈米級精度 × 最高產能 × 24/7 連續運轉 × 潔淨（部分需真空）」，直驅馬達以無齒槽、零齒隙、無接觸磨耗的運動同時滿足這四項。
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