產業需求 | Requirements
量測與檢測的驅動挑戰Drive challenges in metrology & inspection
量測平台與檢測軸對運動平穩度、定位穩定性與整合度有極高要求。
極平穩無振動運動Ultra-Smooth, Vibration-Free Motion
無齒槽・無漣波
量測與檢測對振動極為敏感。UPLplus 無鐵芯線性馬達無齒槽力與漣波力；RMK/RMF 無槽鐵芯馬達吸引力低、運動極為均勻，確保掃描與量測過程平順。
高定位精度與重複性Positioning Accuracy & Repeatability
零齒隙・直接驅動
直驅消除傳動間隙與遲滯，定位精度直接取決於量測系統。整合式量測的子系統提供閉環位置回授，達成高重複性的量測定位。
即用型旋轉測試台Ready-to-Use Testing Tables
RDDS：testing tables（metrology）
旋轉量測與測試需要整合馬達、軸承、量測與冷卻的即用模組。RDDS 旋轉直驅子系統官方應用即包含測試台（testing tables），服務量測（metrology）產業。
緊湊整合與免維護Compact Integration & Maintenance-Free
無接觸・無磨耗
量測儀器空間受限且要求長期穩定。直驅無接觸磨耗、免維護；UPLplus 緊湊輕量、Z 軸致動器整合量測系統，利於量測儀器的小型化與長期一致性。
Schaeffler 解決方案 | Solutions
量測與檢測直驅方案Direct drive solutions for metrology & inspection
線性馬達作掃描軸、RDDS 子系統作旋轉測試台、RMK/RMF 作極均勻旋轉、Z 軸作檢測升降軸。
無鐵芯線性馬達Ironless Linear Motor
無齒槽、無漣波力的無鐵芯線性馬達，運動極平穩，官網明列應用於量測與檢測機械。力質比 +42%、移動質量小，適合 AOI 與光學量測平台的高動態掃描軸。
- 峰值力 100 – 1,300 N，速度達 30.4 m/s
- 無齒槽（無鐵芯設計），運動極平穩
- 官網應用：量測與檢測機械、氣浮軸
RDDS 旋轉直驅子系統Rotary Direct Drive Systems
整合扭矩馬達、精密軸承、量測與冷卻的即用型旋轉模組，官方應用明列測試台（testing tables），服務量測（metrology）產業。無背隙、高剛性、運轉平穩，作為旋轉量測台與測試轉台的即裝即用方案。
- RDDS1 Ø130 – 230 mm、RDDS2 Ø240 – 565 mm
- 整合馬達 + 軸承 + 量測 + 冷卻
- 無背隙、高剛性、運轉平穩
- 官方應用：測試台、metrology 產業
無槽鐵芯扭矩馬達Slotless Torque Motor
無槽鐵芯永磁 AC 同步馬達，吸引力低、運動極為均勻、最佳同步，適合運動方向幾乎無外力的高精度旋轉量測。設計與直徑彈性高，可採扁平或同軸配置整合進量測機構。
- 直徑 70 – 2,500 mm，扭矩 2 – 15,000 Nm
- 無齒槽，運動極為均勻、最佳同步
- 扁平式或同軸式設計，用於高精度應用
應用案例 | Application Cases
量測與檢測的典型應用場景Typical applications in metrology & inspection
晶圓 AOI 檢測、光學掃描與多層量測/鑽孔皆以直驅多軸平台達成；無鐵芯線性馬達提供無齒槽、恆定掃描速度的平穩運動，直驅旋轉軸提供高精度對位，確保量測影像品質與重複性。
XYT 晶圓檢測 | XYT Wafer AOI
XYT 晶圓 AOI 檢測與量測平台
Schneeberger 客製 XYT 晶圓 AOI 檢測與量測平台以 X/Y 線性軸搭配旋轉 T 軸構成，達奈米級穩定度與毫秒級 Move & Settle 響應，適用晶圓自動光學檢測、光學掃描與量測。無鐵芯線性馬達（UPLplus）驅動 AOI 掃描軸，無齒槽、無漣波避免量測的週期性誤差；直驅旋轉軸（RMK/RMF）提供晶圓對位，恆定掃描速度確保影像品質。
光學掃描 | Optical Scanning
光學掃描精密定位平台
光學掃描檢測需要精密的 X/Y 與旋轉定位，並維持恆定掃描速度以避免影像失真。IDAM 客製多軸系統以直驅技術構成精密 X/Y 平台與旋轉軸，無齒槽、無漣波的平穩運動確保光學掃描的影像品質與重複性。（圖：IDAM 光學掃描精密 X/Y 平台）
多層量測 / 鑽孔 | Measuring & Drilling
全自動多層量測與鑽孔系統
PCB 多層板的全自動量測與鑽孔需要高動態、高精度的 X/Y 龍門軸與快速定位。IDAM 客製多軸系統以直驅線性馬達驅動龍門與進給軸，達成高加速、零齒隙與微米級重複定位，提升量測與鑽孔的產能與精度。（圖：IDAM 全自動多層量測與鑽孔系統）
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