连接版本(Contact Versions)
以下各连接版本决定讯号线(Cord)或插头(Plug)的出线方向与方式。型号矩阵中对应的代号请参见「RDDS1 矩阵型号说明」(印刷页 24)。
CA — 轴向向下引出
CD — 径向向下引出
CU — 径向向上引出
MA — 电缆加插接连接器
PD — 插头径向向下
PU — 插头径向向上
※ 圆圈内代号之详细说明请参见「RDDS1 矩阵型号说明」(印刷页 24)。
安装与冷却版本(Mounting and Cooling Versions)
安装版本(Mounting Versions)
冷却版本(Cooling Versions)
※ 圆圈内代号之详细说明请参见「RDDS1 矩阵型号说明」(印刷页 24)。
量测系统、气动夹持、运行精度与洁净室
(Measuring System, Pneumatic Clamp, Running Precision and Cleanroom)
| 量测系统(Measuring System) | 气动夹持(Pneumatic Clamp) | 运行精度(Running Precision) |
|---|---|---|
| 依需求选配(On request)。选配「气动夹持」选项时,整体高度将增加。 |
轴向及径向跳动(axial and radial runout)为 ±10 µm。 依需求可提供更高精度等级,公差 <±10 µm。 |
量测系统(Measuring System)
- 每转 3600 – 24000 增量(依型号而定)
- 标准:增量数及选配视各直径型号而定
- 标准:输出讯号 1 Vpp sin/cos + index
优点
针对每种应用皆可达到最佳分辨率与精度。
气动夹持(Pneumatic Clamp)
依需求选配(On request)。
注意:选配「气动夹持」选项时,系统整体高度将增加。
运行精度(Running Precision)
轴向及径向跳动(axial and radial runout)为 ±10 µm。
依需求可提供更高精度等级,公差为 <±10 µm。
优点
可实现高精度系统。
洁净室(Cleanroom)
RDDS1 旋转系统经 Fraunhofer IPA 认证,适用于洁净室等级 4 – 6 的应用场合。 详细资料可依需求提供。
优点
可应用于洁净室场合。
等级 4 – 6 依据 DIN EN ISO 14644-1(符合 US Fed. St. 209 D/E Class 10 – 1000 之要求)。
| 等级 DIN EN ISO 14644-1 | 每立方公尺空气中最大允许粒子数(Maximum permissible number of particles per cubic metre) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| N 0.1 µm | N 0.2 µm | N 0.3 µm | N 0.5 µm | N 1.0 µm | N 5.0 µm | |
| 4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | — |
| 5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
| 6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |