6.4 真空
在真空环境中,优先使用耐腐蚀导轨。还需要避免塑胶的放气现象,确保固定孔的通风,并使用适当的润滑剂。
根据要求,SCHNEEBERGER 可以提供在洁净室中包装并根据要求润滑的导轨。
标准 MINI-X 产品的真空范围:
| MINIRAIL | 10⁻⁷ mbar (HV)。10⁻⁹ mbar (UHV) 可根据要求提供。数值适用于无刮片的情况 |
|---|---|
| MINISCALE PLUS | 可询问 |
| MINISLIDE MS | 10⁻⁷ mbar (HV) |
| MINISLIDE MSQ | 10⁻⁹ mbar (UHV) |
注意:真空适用性取决于所使用的材料。