6.4 진공
진공 환경에서는 내식성 가이드웨이 사용이 권장됩니다. 또한 플라스틱의 아웃가싱을 방지하고, 고정 홀의 통기를 확보하며, 적합한 윤활제를 사용해야 합니다.
요청에 따라 SCHNEEBERGER는 클린룸에서 포장되고 요청에 따라 윤활된 가이드웨이를 공급할 수 있습니다.
표준 MINI-X 제품의 진공 범위:
| MINIRAIL | 10⁻⁷ mbar (HV). 10⁻⁹ mbar (UHV)는 요청에 따라 공급 가능. 값은 와이퍼가 없는 경우에 적용 |
|---|---|
| MINISCALE PLUS | 문의 요망 |
| MINISLIDE MS | 10⁻⁷ mbar (HV) |
| MINISLIDE MSQ | 10⁻⁹ mbar (UHV) |
참고: 진공 적합성은 사용된 재료에 따라 달라집니다.