6.4 真空
在真空環境中，優先使用耐腐蝕導軌。還需要避免塑膠的放氣現象，確保固定孔的通風，並使用適當的潤滑劑。
根據要求，SCHNEEBERGER 可以提供在無塵室中包裝並根據要求潤滑的導軌。
標準 MINI-X 產品的真空範圍：
| MINIRAIL | 10⁻⁷ mbar (HV)。10⁻⁹ mbar (UHV) 可根據要求提供。數值適用於無刮片的情況 |
|---|---|
| MINISCALE PLUS | 可詢問 |
| MINISLIDE MS | 10⁻⁷ mbar (HV) |
| MINISLIDE MSQ | 10⁻⁹ mbar (UHV) |
注意：真空適用性取決於所使用的材料。
