16.6 MINISLIDE MSQscale 安装指南
本安装指南说明带有整合量测系统的微型无摩擦工作台 MINISLIDE MSQscale 的安装方式。内容涵盖安全说明、基座结构配置、导轨安装、量测系统安装、调试以及故障排除等完整流程。
补充文献：MINISLIDE MSQscale 产品型录、MINI-X 产品型录
目录
Ch 1-2
安全说明与基座结构
适用范围、授权人员、安全防护措施、环境保护、运输规范、基座结构一般要求、表面质量、安装面平面度、定位高度与圆角半径、安装方式
Ch 3
导轨安装
安装准备、所需工具与设备、定位面准备、导轨安装与调整、拧紧扭矩、尺度刻度清洁、润滑
Ch 4
量测系统安装
静电防护、接口模组与导轨配对、接口模组安装选项、挠性感测排线连接、FFC 延伸线安装、客户自备缆线连接
Ch 5-6
调试与技术原理
讯号传输、接脚定义、控制器设定、功能检查、系统精度、内插、数字讯号评估、讯号频率
Ch 7-9
术语定义、应用提示与故障排除
接口模组比较、精度等级、重复定位精度、参考定位、周期偏差、比较器误差、取样率、讯号传输方式、运行方向、操作条件、EMC 特性、磁场效应、数字接口模组校准、错误描述与对策