6.4 真空

在真空环境中,优先使用耐腐蚀导轨。还需要避免塑胶的放气现象,确保固定孔的通风,并使用适当的润滑剂。

根据要求,SCHNEEBERGER 可以提供在洁净室中包装并根据要求润滑的导轨。

标准 MINI-X 产品的真空范围:

MINIRAIL
MINISCALE PLUS
MINISLIDE MS
MINISLIDE MSQ
10⁻⁷ mbar (HV)。10⁻⁹ mbar (UHV) 可根据要求提供。数值适用于无刮片器的情况
可询问
10⁻⁷ mbar (HV)
10⁻⁹ mbar (UHV)

注意:真空适用性取决于所使用的材料。

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