4. Ví dụ ứng dụng
MINI-X phù hợp cho các ứng dụng yêu cầu độ chính xác cao và độ tin cậy quy trình trong môi trường bị hạn chế không gian. Ưu thế đặc biệt của MINI-X được phát huy đầy đủ trong các ứng dụng sau:
- Gia công vi cơ
- Công nghệ sinh học
- Công nghiệp bán dẫn
- Tự động hóa phòng thí nghiệm
- Công nghệ y tế
- Đo lường học
- Tự động hóa vi mô
- Công nghệ nano
- Công nghiệp quang học
- Robot học
Kính hiển vi hiện đại không thể thiếu trong nghiên cứu và các quy trình y tế hàng ngày. Để phân tích mẫu nhanh chóng và chính xác, tấm kính bên dưới thấu kính liên tục được di chuyển thông qua bàn chữ thập.
Kính hiển vi với bàn quét
Bàn quét
Bàn quét được thể hiện dựa trên MINIRAIL và MINISCALE PLUS; bộ truyền động được cung cấp bởi động cơ tuyến tính. Sử dụng các bộ phận nhỏ gọn này, trọng lượng được giảm khoảng năm lần so với kết cấu thông thường (vít me bi và động cơ đa pha). Bàn quét không chỉ nhanh mà còn rất êm. Độ chính xác trong các vùng nhỏ nhất – độ chính xác định vị lặp lại đến vài micromet.
Sử dụng MINISLIDE
Đối với kiểm tra điện khi đo các kết cấu chỉ 50 µm hoặc nhỏ hơn, độ chính xác và tốc độ của máy kiểm tra đầu bay là yếu tố then chốt. Đặc biệt gia tốc cao không được ảnh hưởng đến độ chính xác tiếp xúc của thiết kế thử nghiệm. Nhà sản xuất cung cấp các cấu hình máy khác nhau cho các sản phẩm đa dạng. Thế hệ máy mới nhất có thể kiểm tra một phạm vi vật liệu và thiết kế cực kỳ rộng, bao gồm PCB cứng và linh hoạt, cũng như mọi thứ từ gói IC đến màn hình cảm ứng.
Hệ thống kiểm tra đầu bay
- Gia tốc: 30 g
- Hành trình: 1 – 2 mm
- Tổng hành trình: 10 – 15 mm
- Độ lặp lại: 1 – 2 µm tại điểm làm việc
- Bôi trơn: Không cần bảo trì sau bôi trơn ban đầu
Đầu kiểm tra với MINISLIDE MSQ 7 40.32 đã cải tiến