6.4 진공
진공 환경에서는 내식성 가이드웨이가 선호됩니다. 또한 플라스틱의 아웃가싱을 방지하고 장착 구멍의 통풍을 보장하며 적절한 윤활제를 사용해야 합니다.
요청에 따라 SCHNEEBERGER는 클린룸에서 포장하고 요구 사항에 맞게 윤활한 가이드웨이를 제공할 수 있습니다.
표준 MINI-X 제품의 진공 범위:
| MINIRAIL |
|---|
| MINISCALE PLUS |
| MINISLIDE MS |
| MINISLIDE MSQ |
| 10⁻⁷ mbar (HV). 요청 시 10⁻⁹ mbar (UHV) 가능. 와이퍼 미장착 시 적용 수치 |
| 문의 요망 |
| 10⁻⁷ mbar (HV) |
| 10⁻⁹ mbar (UHV) |
참고: 진공 적합성은 사용된 재료에 따라 다릅니다.